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點選以下儀器設備連結,以觀看設備相關資訊

交通大學奈米科技中心
Center for Nano Science & Technology, National Chiao Tung University

親愛的使用者:

感謝您使用本中心儀器的服務,若是我們的工作對您發表著作確實有相當助益,
請您考慮將本中心列名為「誌謝者」,對於我們申請儀器經費補助、會有很大的幫助。
請將發表的著作複印一份寄給我們或告訴我們刊載的期刊、年份、卷數、頁數、及著作題目,無限感激。

服務各型計畫設備
薄膜應力量測系統 [Thin Film Stress Measure System]
噴印系統 [Ink Jet Printer]
雙束聚焦離子束掃描式電子顯微鏡 [Dual-Beam Focus Ion Beam Microscope]
原子力顯微鏡 [AFM - D3100]
原子力顯微鏡 [AFM - Edge]
晶粒共晶鍵合黏著機 [Eutectic Die Bonder]
光學監控鍍膜系統 [Coating System with Optical In-situ Monitor]
高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀 [ High Resolution Confocal Raman Microscope]
光罩對準曝光機 [DUV Mask Aligner]
電子束微影系統 [E-beam Lithography System (ELS - 7500EX)]
單電子槍蒸鍍機 [E-gun Evaporator]
場發射高分辨穿透式電子顯微鏡 [Field Emission HRTEM]
傅氏紅外線光譜儀 [FTIR system (Bruker IFS66V/S)]
載子霍爾系數量測系統 [Hall Effect Measurement System (Swin HALL8800)]
三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
[ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication]
低溫高分辨穿透式電子顯微鏡[Cryo-HRTEM ]
電漿輔助化學氣相沉積系統 [PECVD]
離子剪薄機[PRECISION ION POLISHING SYSTEM]
電子顯微鏡 [JSM-6500F SEM]
太陽能電池外部量子入射效率分析機台 [Quantum Efficiency System (QE-3000)]
紫外/可見/紅外光 分光光譜儀 [UV/VIS/NIR Spectrophotometer]
多功能光譜量測系統 [Spectrum Measurement System]
熱蒸鍍機[ Thermal Evaporator ]
高解析度 X 光繞射儀[ High Resolution X-ray Diffractometer]
手套箱 [Glove Box with Gas Purification System]
太陽光模擬器[ Solar Simulator / Sun Simulator ]
低溫電性量測平台[ Cryogenic Probe Station ]
合作研究設備
低溫強磁場系統 [Low Temperature / High Magnetic Field System]
能量色散光譜儀 [EDS (BRUKER QUANTAX-400)]
 


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一、儀器名稱:
儀器中文名稱:薄膜應力量測系統
儀器英文名稱:Thin Film Stress Measure System

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:KLA Tencor FLX-2320


三、放置地點: 光復校區 奈米科技中心實驗室

四、 服務項目:
FLX-2320應力量測系統可以量測各種膜的殘留應力。另外還可以通氮氣和氬氣來避免薄膜表面氧化或濕氣的影響。不過要注意的是應力量測須有No film scan的資料,故薄膜成長前,須先送原基板來做No film scan並建立檔案。

五、儀器性能說明:
Sample Size: 2, 4, 6 inch
Scan Range: User programmable up to 200 mm
Minimum Scan Step: 0.02 mm
Maximum Points Per Scan: 1250
Measuring Accuracy: Less than 2.5% error
Minimum Radius: 2.0 inch

六、設施服務須知:
1. 本系統經考核後始可開放自行操作。
2. 本系統僅開放自行操作。
3. 本系統服務以1小時為 1 單元 ,每人每天最多預約 4 個單元。
4. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格2週。
5. 一年內累積爽約 3 次,停止使用資格 6 個月。
6. 儀器相關人員
儀器負責教授 洪瑞華 教授 (03) 5712121 ext 54138
rhh@nctu.edu.tw
儀器負責研究生 碩士生 蔡錫翰 (03) 5712121 ext 54128
howardfableq@gmail.com

7. 本儀器不提供破片量測。
8. 自行操作訓練與考核辦法
i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達3次以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者,自行操作新訓人員需累積量測訓練時數達20 hr以上者,方可向儀器負責人申請。考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。
ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
iii. 考核通過者若連續6個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

七、對外開放服務時間與預約時段:
使用時間 星期一 星期二 星期三 星期四 星期五 夜間及非上班日
8:00 - 17:00 開放自行操作 開放自行操作 開放自行操作 開放自行操作 開放自行操作 24h使用者操作or例行維護

附註:若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約。 八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 Thin film stress measure system 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2 . 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 Thin film stress measure system 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 Thin film stress measure system 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 3 次以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。

3. 預約自行操作之方法
3-1 由使用記錄本預約。
3-2凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 Thin film stress measure system 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:
服務項目 試片之薄膜應力量測
收費標準 1. 學術單位:每小時基本收費 500元。
2. 非學術單位:每小時基本收費 3500元。
如有未盡事宜,將另行公告於網站。

 

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一、儀器名稱:
儀器中文名稱:噴印系統
儀器英文名稱:Ink Jet Printer

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:Jetlab 4

儀器購置年份:民國96年

三、放置地點: 光復校區固態電子大樓奈米科技中心1樓

四、 服務項目:
可在室溫下噴墨光電材料,以量測噴墨後試片特性。


五、設備重要規格:
1. 允許2、4吋晶圓及破片,以供利於放置載台上。
2. 全程於室溫下進行。
3. 液態材料恕不提供,請自備。
4. 需有奈米中心 Wet Bench 門禁者方可使用。(瓶子需用DI Water清洗)

六、設施服務須知:
1. 本系統每週開放5天(週一到週五),目前僅開放代工服務
2. 本系統服務以1小時為單位,不足1小時以1小時計費
3. 取消代工需於交單前

七、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 Ink Jet Printer 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
1-4 會費新台幣16,000元 (20小時) 或30000 元 (40小時),自完成申請手續日起,會員可享有20小時或40小時使用時段。

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 Ink Jet Printer 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 Ink Jet Printer 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人洽詢空白時段直接安排。
3-2 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 Ink Jet Printer一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

八、儀器相關人員:

儀器負責教授

洪瑞華 教授

03-5712121 #54138

儀器負責人

碩士生 鄭力中

03-5712121 #54128
a24178361@gmail.com


九、試行對外開放服務時間:
使用時間 星期一 星期二 星期三 星期四 星期五
9:00 - 17:00 開放 開放 開放 開放 開放

十、收費標準
學術單位 業界
委託代工 自行操作 委託代工
Printer 1200元/小時 800元/小時 4000元/小時

註:業界僅開放委託代工

 

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一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器中文名稱:雙束聚焦離子束掃描式電子顯微鏡
Instrument:Dual-Beam Focus Ion Beam Microscope (FIB)
放置地點:固態電子系統大樓R 103
Location:Solid-State Electronics Building R 103
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):

(1)機型 (System model):TESCAN LYRA3

(2)規格 (Specifications):
 1.Chamber:
  a) Internal space: 254 mm in diameter and 310 mm in depth.
  b) Door: 254 mm x 254 mm.
  c) Specimen stage: fully motorized, movements with 130 mm x 130 mm x 100 mm in X, Y and Z axes,
   360-degree continuous rotation, tilt angle from -30 degree to 90 degree and maximum specimen height
    110 mm.
 2. Field-emission scanning electron microscope:
  a) Detectors: SE with YAG crystal, Retractable BSE with YAG crystal, In-beam SE and In-beam BSE.
  b) Resolution:
    SE: 1.2 nm at 30 kV; 1.5 nm at 15 kV.
    In-Beam SE: 1.0 nm at 30 kV; 1.2 nm at 15 kV.
     In-Beam BSE: 2 nm at 15 kV.
  c) Magnification: from 1x to 1Mx or more.
  d) Accelerating voltage: ranging from 200 V to 30 kV.
  e) Probe current: ranging from 2 pA to 200 nA.
 3. Focus ion beam microscope.
  a) Ion gun: Ga liquid metal source.
  b) Resolution: 2.5 nm at 30 kV at SEM-FIB coincidence point.
  c) Magnification: ranging from 150x to 1Mx at 10 kV and SEM-FIB coincidence point.
  d) Accelerating voltage: ranging from 0.5 kV to 30 kV.
  e) Probe current: ranging from 1 pA to 50 nA.
 4. Gas injection system
  a) 5 individual precursor reservoirs with capillaries and injection nozzle.
  b) 3-axis micro-stage with automatic nozzles positioning and touch alarm.
  c) Automated temperature control.
  d) gases include Pt, W, C, SiO2, H2O
 5. Nanomanipulator:
  a) Travelling distance: no less than 18 mm in xyz axes.
  b) Omni-directional repeatability: less than 150 nm

(3)使用功能說明(Description of Utility and Function):
1. TEM試片備製 (TEM Lamella)


2. Backside polishing TEM lamella


3. 金屬沉積與奈米圖像製作 (metal deposition and nano-patterning)

二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)

本系統服務以預約使用時段每次以三小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』
For our FIB, reservations are made in 3-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.

三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

李柏璁 教授
Prof. P.T. Lee

03-5712121 ext 31306

儀器管理者
Instrument administrator

李良箴博士
Dr. L. C. Li

03-5712121 ext 55634

lcli@faculty.nctu.edu.tw


四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)

週一~週日 上午8:00~晚上23:00 每日為五個開放使用單位時段。
9:00~24:00 from Monday to Sunday; Five time slots (three hours each) are available per day.

五、管理及服務辦法(V. User regulations)

1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『FIB實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “FIB application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『FIB實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “FIB application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)

1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『FIB實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。申請核可後,管理員會以E-mail將『見習訓練紀錄表』寄予申請人,在申請人見習時數完成後,可email與管理員洽詢上機訓練時段。
Applicants should download the “FIB application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to lcli@faculty.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible. Once the application is approved, the administrator will email a log sheet for the probationary training to the applicant. Upon completion of probationary training, the applicant can contact the administrator for the booking of hands-on training.
3. 本機台訓練時數分為見習時數與上機時數,其規定如下:
  a. 見習時數須達到15小時,方可提出上機訓練之申請,若可提出已取得FIB或任何電子顯微鏡相關機台自
   行操作使用證明者,可減免此見習時數。
  b. 上機訓練時數須達21小時,方可提出機台考核申請。
The whole training program includes probationary training and hands-on training.
  a. The user has to accumulate 15 hours of probationary training before applying for hands-on training. If the user can prove himself to be a qualified operator of FIB or any other similar electron microscope, the probationary training can be waived.
  b. Once the user accumulates 21 hours of hands-on training, he may apply for the hands-on evaluation.
4. 訓練時數達到上述之時數後,可向管理員申請考核。考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達30小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Those who have accumulated the above-mentioned hours of training can approach the administrator for the evaluation application. Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 9:00 AM and 6:00 PM. Those accumulating 30 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
5. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
6. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
7. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
8. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)

1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 3000元/hr
業界( Corporation) 6000元/hr
金屬沉積(Metal deposition) SiO2, W, C, H2O Pt 100元/min

2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 52000/30小時 (~1733/hr, 金屬超過15min加收1小時 If metal deposition time is over 12 min, an additional hourly cost will be charged.)
業界( Corporation) 100000/30小時 (~3333/hr, 金屬超過15min加收1小時 If metal deposition time is over 12 min, an additional hourly cost will be charged.)

3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute) 45000/25小時 (1800/hr)
業界( Corporation) 100000/25小時 (4000/hr)

八、樣品規範(VIII. Sample specification)

1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
2. 操作前必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:
  a.待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎
   裂的狀況。
  b.低熔點的材料如:銦,錫等, 會產生相變及蒸鍍效應,請勿預約本機台。
  c.在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,若有影響真空造成污染之虞,本單位
   有權拒絕受理。
  d.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
  e.未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,本單位有權拒絕受理。
The material, fabrication, and solvent should be specified before operation. The following restrictions will be apply to samples in order to minimize contamination.
  a.Samples should possess sufficient mechanical strength to avoid the possibility of peeling off or cracking in the process.
  b.Material with low melting point may result in phase change or evaporation effect.
  c.Samples with the possibility of gas decomposition or emission after electron beam exposure may lead to vacuum chamber contamination.
  d.Ferromagnetic powdery sample or material may be attracted to electromagnetic lenses.
  e.Powdery samples are not properly dried.
Please inform and discuss with the administrator before you start the experiment.
3. 樣品的尺寸:較理想容易操作大小為直徑2.5 cm內,直徑超過2.5 cm或表面局部起伏超過2 um皆視為特殊尺寸樣品,應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。
Ideal sample size is 1cm by 1cm, or within 1cm in diameter. For samples greater than 1cm in diameter or with over 2um of roughness, users should bring the sample size to the administrator’s attention before proceeding with the experiment.
4. 半導體、導電性不佳及絕緣體試片需先鍍導電膜(金或鉑較佳),現場無提供鍍膜處理。
Samples with low conductivity should be coated by Pt or Pd film beforehand.
5. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行圖檔傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
6. 每3小時一個時段可提供一片TEM試片製作所需之銅網。
For TEM lamella, a piece of TEM copper grid is provided by the lab for one operation unit.
7. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
8. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
9. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

 

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一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:熱蒸鍍機
Instrument:Thermal Evaporator
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model):TE-400
放置地點:固態電子系統大樓R 103
Location:Solid-State Electronics Building R 103

使用功能說明(Description of Utility and Function):
金屬蒸鍍(Metal evaporation):(Au, Ni, Al, Ge, Ti, Ag)

規格 (Specifications):
1. 蒸鍍種類及樣品大小(Evaporation type and sample size):
(1) Allowable Evaporation Source:Au, Ni, Al, Ge, Ti, Ag,
(2) For 1 sheet of 4 inch wafer or smaller than 4 inch
(3) 6 electrodes for evaporation source

2. 抽氣效率(Pumping Performance):
(1) Ultimate Pressure: 8.0 x 10-7 Torr(After 24Hrs Pumping)
(2) Pumping rate: 20min to 5 x 10-6 Torr

3. 鍍膜均勻性(Deposition Performance):
(1) Film thickness uniformity on the substrate: < 5%
(2) Film thickness uniformity within the batch: < 5%

二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.

三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. Kien-Wen Sun

(03) 5712121 ext 55631

儀器管理人員
Instrument administrator

賴良一 先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637

rexlai@cc.nctu.edu.tw


四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.

五、管理及服務辦法(V. User regulations)
1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)
1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 1200元/hr
業界( Corporation) 2400元/hr
Au 時價(1.5公克/KA)
Ti 600元/KA
Ni 400元/KA
Ge 600元/KA
Al 400元/KA
Ag 400元/KA
鎢舟 100元/次
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 12500/20 hr,25000/42 hr
業界( Corporation) 25000/20 hr,50000/42 hr
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 1200/hr)
業界( Corporation 2400/hr)

八、樣品規範(VIII. Sample specification)
1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

 

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一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:晶粒共晶鍵合黏著機
Instrument:Eutectic Die Bonder
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model):Cammax Precima/ EDB80P
放置地點:固態電子系統大樓R 150
Location:Solid-State Electronics Building R 150

使用功能說明(Description of Utility and Function):
適用於LED/LD 及各種半導體元件共晶鍵合之用途。
Suitable for eutectic bonding applications of LED/LD and various semiconductor devices.

規格 (Specifications):
1. 整體機台:平移範圍~ 12 cm,移動手臂對位= 8:1,晶粒放置精度< 10 μm
Integral machine: translation range ~ 12 cm, moving arm alignment = 8:1,
placement accuracy < 10 μm

2. 加熱平台移動組件:X/Y平移 ~ 6 mm,馬達驅動齒輪旋轉 (微調比例 = 200:1)
Heating platform moving assembly: X/Y translation ~ 6 mm, motor drive gear rotation (trimming ratio = 200:1)

3. 黏著頭:馬達控制旋轉角度360°
Adhesive head: motor control rotation angle 360°

4. 最佳操作溫度:< 400℃ (Au-Sn eutectic temperature 280℃)
Optimal operating temperature:< 400℃ (Au-Sn eutectic temperature 280℃)

5. 接合壓力:10-250 gram
Engagement pressure: 10-250 gram

6. 可放置晶粒托盤(Waffle/Gel-Pak)

二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.
三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

林國瑞 教授
Prof. Gray Lin

(03) 5712121 ext 31289
graylin@mail.nctu.edu.tw

儀器管理人員
Instrument administrator

賴良一先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637

rexlai@cc.nctu.edu.tw

四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.
五、管理及服務辦法(V. User regulations)
1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.
六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.
七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)
1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 600元/hr
業界( Corporation) 1200元/hr
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 12500/40 hr
業界( Corporation) 25000/40 hr
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 600/hr)
業界( Corporation 1200/hr)
八、樣品規範(VIII. Sample specification)
1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

 

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一、儀器名稱:(1.Introduction of instrument)
儀器中文名稱:多功能光譜量測系統
儀器英文名稱:Spectrum Measurement System
二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份(2.Description of system model and specifications):
廠牌及型號:HORIBA Jobin Yvon (昇航代理)

儀器購置年份:民國 101年
三、放置地點(3.Location): 光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室 Solid-State Electronics Building R 150
四、 服務項目(4.services):
•  光激發螢光光譜 Photoluminescence (PL)

•  電激發螢光光譜 Electricluminescence (EL)

•  雷射二極體測試 Laser Diode Test System
    (以上量測範圍:0.3 ~ 5.5μm)

•  時間解析光譜 Time-resolved PL (TCSPC)
    (以上量測範圍:0.3 ~ 0.85μm)

•  光激發雷射樣品測試 Optically-pumped Laser Test
    (以上量測範圍:1.1 ~ 5.5μm)

此量測系統配置循環液氦冷卻系統(15~350K)以及液氮電性量測系統(80~350K), 可供變溫實驗量測。The measuring system is equipped with a circulating liquid helium cooling system (15~350K) and a liquid nitrogen electrical measuring system (80~350K), which can be used for variable temperature experimental measurement.

五、設備重要規格(5. Important specifications of equipment):

•  光譜儀spectrometer:iHR320 (HORIBA Jobin Yvon) Grating:光譜儀1 spectrometer1[500nm, 900nm (中心波長)],光譜儀2 spectrometer2 [2μm, 3μm, 4μm]

•  偵測器detector:固態偵測器 Si (0.3~1.0μm), InGaAs (0.8~1.6μm),InGaAsSb (1.3~2.4μm), InSb (1.0~5.5μm)光電倍增管 Si-PMT (0.3~0.85μm)

•  雷射源laser source:CW-DL 405nm 100mW (Max)Pulsed-DL 405nm 20mW (Max), 50~600ps (PW),2.5~40MHz (Rep.)Fiber Laser 1064nm 10kW(Peak Max), 10~200ns (PW),1~500k Hz (Rep.)

•  電流源current source:Keithley 2520 10V (Max), 1A (Max), 500ns~DC (PW)

六、設施服務須知(Guideline for usage of instrument):
1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
Operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 本系統每週開放服務 7 天。
This system is open every day.
3. 本系統服務以 4 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。
Four time slots (four hours each) are available per day.
4. 每人每週最多預約 3 個單元。
A maximum of 3 orders per person per week.
5. 優先預約時段至使用前 3 天。
Priority appointment period until 3 days before use.
6. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止使用資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least one days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
7. 一年內累積爽約 3 次,停止使用資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
8. 儀器相關人員(Instrument Personnel):

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof.K.W.SUN

(03) 5712121 ext 56581

儀器負責研究生
Instrument student

潘柏舟 先生
P.C.PAN

0989659106

ya2756@yahoo.com.tw

儀器聯絡人
Instrument administrator

潘柏舟 先生
P.C.PAN

0989659106

ya2756@yahoo.com.tw


七、自行操作訓練與考核辦法(7.self-operation training and assessment methods)
i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達3次以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者,自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達40 hr以上者,方可向儀器負責人申請。考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。Personnel who need to accumulate more than 3 trainings on their own to operate new trainers may apply to the person in charge of the instrument for assessment. After the assessment is passed, the measurement system can be operated on its own during daylight hours. If you need to operate the user at night or on a non-working day (24 hrs), you must apply to the person in charge of the instrument by yourself if you need to accumulate more than 40 hrs of cumulative training hours. After the examination is passed, it can be used at night or on non-working days (24 hrs of authority).
ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。Qualified users all have the obligation to train new trainers.
iii. 考核通過者若連續6個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。If the test passer has no record of operation for 6 consecutive months, please contact the instrument contact person first and then open the door to operate as required.
iv. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。After the experiment is completed, the center will deduct the experimental fees from the stored value according to the use time.

其他注意事項(Other considerations ):
i. 試片以破片為主,尺寸小於 (長)1.5cm × (寬) 1.5cm。The test piece is mainly fragmented and the size is less than (length) 1.5cm × (width) 1.5cm.
ii. 目前暫不開放液體類樣品(溶液)使用。At present, liquid samples (solutions) are not available for use.
iii. 如需使用液態氮冷卻系統,可事先將液態氮準備妥當。(固態電子大樓側門可取得液態氮)If liquid nitrogen cooling systems are used, liquid nitrogen can be prepared in advance. (Solid state electronic building side door can obtain liquid nitrogen)
iv. 如因實驗需求而自備激發光源者,可事先聯絡儀器管理員,以便幫忙架設光路。If you need to bring your own light source due to experimental needs, you can contact the instrument administrator in advance to help set up the light path.


八、對外開放服務時間與預約時段(VII.Opening hours):

每週一至五,每天8:00~17:00。Every Monday to Friday, every day from 8:00 to 17:00.

附註:若內部維護或技術發展與訓練(含考核)則不接授預約。Note: If internal maintenance or technical development and training (including assessment) do not accept the appointment.

時間 Time

星期一 Monday

星期二 Tuesday

星期三 Wednesday

星期四 Thursday

星期五 Friday

8:00-10:00

中心時段Central hours

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

10:00-12:00

中心時段Central hours

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

12:00-13:00

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

中心時段Central hours

13:00-15:00

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

中心時段Central hours

15:00-17:00

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

開放自行操作your own operation

中心時段Central hours

夜間及
非上班日

24h使用者操作
or例行維護
24h user operation
Or routine maintenance

24h使用者操作
or例行維護
24h user operation
Or routine maintenance

24h使用者操作
or例行維護
24h user operation
Or routine maintenance

24h使用者操作
or例行維護
24h user operation
Or routine maintenance

24h使用者操作
or例行維護
24h user operation
Or routine maintenance


九、服務申請流程(8\9.service application process):
1. 會員制度membership policy
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度This equipment is applicable to the membership system of Nano Technology Center
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師The membership system is applicable to full-time teachers of Taiwan United University
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『多功能光譜量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』If you want to apply for membership, please download "Multi-function Spectrum Measurement System Member Application Form and Fund Transfer Approval Form"
2
. 自行操作訓練之申請方法Application method for self-operated training
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2人。Regardless of whether or not to join the membership, the maximum number of individuals who can apply for self-operation on this machine in each laboratory is two.
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯『多功能光譜量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。After the member completes the payment procedure, he/she contacts the instrument liaison person for training. Only the graduate students filled in the “multi-purpose spectral measurement system membership application form and funds transfer approval form” must attend the training course.
2-3 一般申請人需自行下載『多功能光譜量測系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。General applicants are required to download the "Uniform Spectrum Measurement System General User Equipment Use, Training, Commissioning Operation Application Form and Fund Transfer Verification Form" on their own. After completing the application process, they will contact the instrument liaison personnel for training.
2-4 累積訓練時數達3次 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。Those who have accumulated more than 3 training hours can apply to the instrument contact person for assessment.
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。Appraisers must download the “Service Questionnaire” on their own within a week. After completing and returning, they can complete the certification procedures to obtain their own qualifications for opening, night and non-working hours.
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。If the appraisers pass the record of self-operation for 6 consecutive months, please contact the contact person of the instrument and open it up again as the case may be.

3. 預約自行操作之方法 Appointment for self-operation
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排,會員直接上網預約。Contact with the instrument contact person by phone or E-mail to arrange for a blank time and direct members to make an appointment online.
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。This instrument is open to self-administration by the examiner during work hours and non-work hours. All users should fill out the instrument usage record book in detail and indicate any abnormal conditions. The offender shall stop using the qualification for 3 months.
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。If the instrument is damaged due to improper operation of the individual, the Center may require the operator's laboratory supervisor to make reasonable compensation. Only those who do not report it shall seek compensation, and shall revoke their use of the unit.

4. 申請委託服務之方法How to apply for commission service
4-1 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。If the instrument is damaged due to improper operation of the individual, the Center may require the operator's laboratory supervisor to make reasonable compensation. Only those who do not report it shall seek compensation, and shall revoke their use of the unit.
4-2 申請人於預約時段前3 天 將試片送交儀器聯絡人。The applicant sent the test piece to the instrument contactor 3 days before the scheduled time
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。The instrument liaisons may request the applicant to conduct experiments together in the field as needed.

 十、一般收費標準(10.General charges):

 

項目 project

學術計畫 Academic Project

產業界 industry

費用 cost

委託操作 Delegate operation

800 (元/時 NTD/hour), 600 (PL Only)

1200 (元/時 NTD/hour), 1000 (PL)

自行操作 Operate by yourself

300 (元/時 NTD/hour), 180 (PL)

不開放 Not open

操作訓練 Operational training

800 (元/時 NTD/hour), 600 (PL)

不開放 Not open


 

項目 project

學術計畫 Academic Project

產業界 industry

會員
自行操作
Members
Operate by yourself

50小時 hours

15,000 元 NTD, 9,000 元 NTD (PL)

不開放 Not open

120小時 hours

30,000 元 NTD, 21,600 元 NTD (PL)

不開放 Not open


 

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一、儀器名稱 (I.Introduction of instrument) :
儀器中文名稱:單電子槍蒸鍍機
Instrument:E-gun Evaporator
二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份(II.Description of system model and specifications):
廠牌及型號(System model): ULVAC, EBX
-8C
儀器購置年份:民國   年
三、放置地點(III.Location): 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) R223 Solid-State Electronics Building R 223
四、 服務項目(IV.services):
•  元件電極金屬蒸鍍(metal evaporation):(Au, Ni, Al, Ge, Ti, Pt)
五、儀器性能說明(V.Description of Utility and Function):
1. 靶材與晶圓乘載量(source and wafer load capacity):
(1) Allowable Evaporation Source:Au, Ni, Al, Ge, Ti, Pt, Pd
(2) For 8 sheets of 4 inch wafers or smaller than 4 inch
(3) 4 hearths (2.9cc x 4) for evaporation source (crucible of 2cc)
2. 抽氣效率(Pumping Performance):
(1) Ultimate Pressure: < 5.0 x 10-7 Torr
(2) Pump down time: 3.0 x 10-7 Torr
3. 鍍膜均勻性(Deposition Performance):
(1) Film thickness uniformity on the substrate: < 5%
(2) Film thickness uniformity within the batch: < 5%
六、設施服務須知(VI.Guideline for usage of instrument):
1. 本中心所屬 E-gun 經考核均可開放自行操作。Operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 本系統每週開放服務 7 天。This system is open every day.
3. 本系統服務以 4 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。Four time slots (four hours each) are available per day.
4. 每人每週最多預約 3 個單元。A maximum of 3 orders per person per week.
5. 優先預約時段至使用前 3 天。Priority appointment period until 3 days before use.
6. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止使用資格 1 個月。Reservation Cancellation must be made at least one days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
7. 一年內累積爽約 3 次,停止使用資格 6 個月。Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
8. 儀器相關人員(Instrument Personnel):

儀器負責教授 Instruction supervisor

孫建文 教授 Prof.K.W.SUN

(03) 5712121 ext 56581
(03) 5712121 ext 55631
kwsun@mail.nctu.edu.tw

儀器負責研究生 Instrument administrator

張元豪 先生 Y.H.CHANG

(03)5712121 ext.54235
048little@gmail.com


七、對外開放服務時間與預約時段(VII.Opening hours):

每週七天,每天8:00~24:00。 8:00~24:00 from Monday to Sunday

附註:若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約。
八、服務申請流程(VIII.User regulations):
1. 本機台提供委託及自行操作服務。 Operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。 Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.

3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『E-gun Evaporator實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。 Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “E-gun Evaporator application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『九、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。 The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “IX. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『E-gun Evaporator實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。 The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “E-gun Evaporator application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。 Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。 Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『十、收費標準』。 Please refer to “X. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

九、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.):
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。 The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 本機台上機訓練次數須達3次,方可提出機台考核申請。 Once the user accumulates 3 times of hands-on training, he may apply for the hands-on evaluation.
3. 訓練次數達到上述之次數後,可向管理員申請考核。考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用次數達5次以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。 Those who have accumulated the above-mentioned times of training can approach the administrator for the evaluation application. Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 17:00 PM. Those accumulating 5 times of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。 All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。 Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。 Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。 The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

 十、一般收費標準(X.Fee-Charging Standard):

 

項目 (term)

學術計畫 (Academic institute)

產業界 (Corporation)

費用 (Fee)

委託操作 (Commissioning)

2500 TWD (per time)

3500 TWD (per time)

自行操作 (independent-operation)

1000 TWD (per time)

不開放 (close)

操作訓練 (training)

1000 TWD (per time)

不開放 (close)


Au 時價current price(1.5公克(g)/KA)
Pt 時價current price(1.5公克(g)/KA)
Ti 600 TWD/KA
Ni 400 TWD/KA
Ge 600 TWD/KA
Al 400 TWD/KA
Pd 1000 TWD/KA

 

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一、儀器簡介

● 儀器中文名稱:場發射穿透式電子顯微鏡
● 儀器英文名稱:Field Emission Gun Transmission Electron Microscope
● 儀器英文簡稱:FEG-TEM

儀器設備說明:

  • 儀器購置年月:2004年 11 月
  • 儀器經費來源:國科會
  • 廠牌及型號:日本JEOL, JEM-2100F
  • 放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室
  • 重要規格:
    • 加速電壓:160-200KeV 
    • 放大倍率:x2000-1,500,000
    • 解像力:Point image:0.23 nm;Lattice image:0.14 nm 
    • 雙傾斜基座:X軸±30°;Y軸±30°。 
  • 主要附件:
    • Link ISIS 300 Energy Dispersive X-ray Analyzer(EDS) (能量分佈分析)
    • Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)
    • Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) - Gatan Imaging Filter (GIF) system
  • 儀器性能:
    • 材料試片表面組構(morphology)、斷面、微細組織、晶體結構、缺陷觀察及元素成份分析。
 


二、設備服務須知:

  • 本系統以學術研究為主,服務為輔。
  • STEM與GIF功能僅開放學術合作與委託服務。
  • 本系統服務以3小時為一單元 ,總計每週開放服務十單元。每週有四單元國家型計畫優先預約使用,有三單元為一般國科會計畫優先預約使用,另三單元由產業界優先預約使用或做其他特殊服務,詳請參照『五、對外開放服務時間』。
  • 若委託服務時段沒有預約服務,則開放自行操作。
  • 本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、JEOL-2100F FEG-TEM相關辦法
  • 本設備委託服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、委託服務辦法』。
  • 自行操作採取時段預約,使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。
  • 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
  • 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
  • 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
本中心FEG-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。
 


三、儀器相關人員

儀器負責教授

李建平 教授

03-5712121 #31589

03-5712121 #31871

儀器操作技術員

鍾怡娟 小姐

03-5712121 #55636

ichuan@cc.nctu.edu.tw

 


四、
JEOL-2100F FEG-TEM相關辦法

  • 本設備目前試用儲值卡制度。
  • 欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後請Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
  • 申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』於實驗完畢後,依據使用時間扣取費用。
 


五、試行對外開放服務時間

上午 09:00-12:00 / 下午 14:00-17:00

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

14:00-17:00

國家型計畫

特殊服務/產業界委託服務

特殊服務/產業界委託服務

一般國科會

特殊服務/產業界委託服務

 


六、委託服務辦法

1. 本委託服務採取序號預約。使用學生請先下載『JEOL-2100F FEG-TEM實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至ichuan@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

2. 儀器操作技術員得視需要要求申請人在現場共同進行實驗。

3. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。

4. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。

 


七、自行操作訓練與考核辦法

1. 本系統自行操作僅開放予博士班學生,該生必須擁有本中心JEOL-2010 Cryo-TEM 操作資格並使用達30小時,同時提出研究使用計畫材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否接受新訓練申請案,其詳細辦法如下。(每位指導教授先以一名博士班學生為原則進行訓練)

2. 博士班學生需上網下載並填寫『JEOL-2100F FEG-TEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。 使用者請於申請核可後,持已核准之使用申請單以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

3. 新訓人員累積訓練時數達 30 小時以上者方可向儀器負責人申請考核。 考核通過者為可於開放時間內進行自行操作。

4. 考核通過者有訓練新訓人員之義務。

5. 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,則取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。

6. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。

 

八、收費標準

 

委託服務

自行操作

操作訓練

JEOL-2100F FETEM

學術界 NT$1800/小時
業界 NT$4000/小時
(需使用STEM者,需加收NT$1000)

NT$800/小時

按照訓練時數扣費

備註1.本中心FEG-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。

2. 本收費標準會視實際開放情況略作調整。

 

九、送測樣品規範

1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。若只需普通簡單分析之樣品,建議至本中心Cryo-TEM(JEM-2010)使用,以充分發揮本儀器之功能。

2. 操作前必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

(1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況。
(2).低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應,請勿預約本機台。
(3).在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。
(4).具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
(5).未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,本單位有權拒絕受理。

3. 具自行操作資格人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格

4. 委託操作者上機之前,技術員會再次要求確認您送來檢測的樣品種類,請您誠實申報。如果發現申報不實,本中心將取消您的使用資格

5. 若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。


  十、2010年全年儀器性能圖

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一、儀器簡介

● 儀器中文名稱:低溫高分辨穿透式電子顯微鏡
● 儀器英文名稱:Cryo High Resolution Transmission Electron Microscope
● 儀器英文簡稱:Cryo-HRTEM
● 儀器設備說明:

  • 儀器購置年月:2004年 11 月
  • 儀器經費來源:國科會
  • 廠牌及型號:日本JEOL, JEM-2010
  • 放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室
  • 重要規格:
    • 加速電壓:80-200KV 
    • 放大倍率:x2000-1,500,000
    • 解像力:Point image:0.23 nm;Lattice image:0.14 nm 
    • 雙傾斜基座:X軸±30°;Y軸±30°。 
  • 主要附件:
    • Link ISIS 300 Energy Dispersive X-ray Analyzer(EDS) (能量分佈分析)
    • Gatan Cryo-Transfer Specimen Holder
  • 儀器性能:
    • 材料試片表面組構(morphology)、斷面、微細組織、晶體結構、缺陷觀察及元素成份分析。


二、設備服務須知:

  • 本系統以學術研究為主,服務為輔。
  • 本系統服務以3小時為一單元 ,總計每週開放服務八單元。每週有四單元國家型計畫優先預約使用,有三單元為一般國科會計畫優先預約使用,另一單元由產業界優先預約使用或做其他特殊服務,詳請參照『五、對外開放服務時間』。
  • 若委託服務時段沒有預約服務,則開放自行操作。
  • 本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、JEOL-2010 HRTEM相關辦法
  • 本設備委託服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、委託服務辦法』。
  • 自行操作採取時段預約,使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。
  • 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
  • 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
  • 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
  • 本中心Cryo-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。


三、儀器相關人員

儀器負責教授

李建平 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

鐘怡娟 小姐

(03)5712121 ext 55636
ichuan@cc.nctu.edu.tw


四、JEOL-2010 Cryo-TEM相關辦法

  • 本設備目前試用儲值卡制度。
  • 欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
  • 申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


五、試行對外開放服務時間

上午 10:00-13:00 / 下午 14:00-17:00

JEOL-2010 HRTEM

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

10:00-13:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

14:00-17:00

國家型計畫

特殊服務/產業界委託服務

特殊服務/產業界委託服務

一般國科會

特殊服務/產業界委託服務


六、委託服務辦法

1. 本委託服務採取序號預約。使用學生請先下載『JEOL-2010 TEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,e-mail至ichuan@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

2. 申請人於預約時段前2天將試片送交儀器操作技術員。

3. 儀器操作技術員得視需要要求申請人在現場共同進行實驗。

4. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。

5. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


七、自行操作訓練與考核辦法

1. 本系統自行操作僅開放予博士班學生,該生必須已具傳統TEM使用資格 (已熟悉TEM基本原理與操作),並提出研究使用計畫材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否接受新訓練申請案,其詳細辦法如下。(每位指導教授先以一名博士班學生為原則,進行訓練)

2. 博士班學生需上網下載並填寫『JEOL-2010 HRTEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。 使用者請於申請核可後,持已核准之使用申請單以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

3. 新訓人員累積訓練時數達 30 小時以上者方可向儀器負責人申請考核。 考核通過者為可於開放時間內進行自行操作。

4. 考核通過者有訓練新訓人員之義務。

5. 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,則取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。

6. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


八、收費標準

 

委託服務

自行操作

操作訓練

JEOL-2010
HRTEM

學術界 NT$1750/小時
業界 NT$3000/小時
( 需使用Cryo-transfer Holder者,需加收NT$1500 )

NT$500/小時

按照訓練時數扣費

 備註
1.本中心Cryo-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。

2. Cryo-transfer specimen holder因其操作過程繁雜,一單元時段僅可量測一個試片,且機台真空度維持不易,故僅開放委託服務,恕不開放自行操作。

3. 本收費標準會因實際開放情況略作調整。


九、送測樣品規範

1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
2. 對於試片使用者必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

(1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況。
(2).低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應,請勿預約本機台。
(3).在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。
(4).具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
(5).未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,本單位有權拒絕受理。


3. 具自行操作資格人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格

4. 委託操作者上機之前,技術員會再次要求確認您送來檢測的樣品種類,請您誠實申報。如果發現申報不實,本中心將取消您的使用資格

5. 若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。


十、2010年全年儀器性能圖


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一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:高解析度 X 光繞射儀
Instrument: High Resolution X-ray Diffractometer
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model): Bede, D1
放置地點:固態電子系統大樓R 103
Location:Solid-State Electronics Building R 103
使用功能說明(Description of Utility and Function):
1. Poly-crystal s, crystal and phase identification (θ-2θ 、 Ω -2θ 、 θ scan)
2. Thin film diffraction and grazing incident x-ray diffraction
3. Powde r, bulk diffraction and rocking curve
4. Small area diffraction
規格 (Specifications):
1.Brand 1 : Ital, Model IS2773-00LFF (40KV , 50mA)
2. Sealed Tube : 全功率 2000W
3. 光學系統包含(Optical system contains):
Soller slit、 Graphite monochromator、 Dual channel analyzer crystal 、
Double crystal (1 st and 2 nd crystal channel cut)
4. 解析度(Resolution): 5 、 12 、 25 arcsec depend on the channel cut

二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.
三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. Kien-Wen Sun

03-5712121 ext 55631

儀器管理者
Instrument administrator

賴良一 先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.
五、管理及服務辦法(V. User regulations)
1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.
六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.
七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)
1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 1000元/hr
業界( Corporation) 2000元/hr
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 18000/40 hr,24000/65 hr.
業界( Corporation) 36000/40 hr,48000/65 hr.
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 1000/hr)
業界( Corporation 2000/hr)
八、樣品規範(VIII. Sample specification)
1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

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一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:原子力顯微鏡(D3100)
Instrument: Atomic Force Microscope (D3100)
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model): Digital Instrumen t, Dimension 3100
放置地點:固態電子系統大樓R 103
Location:Solid-State Electronics Building R 103
使用功能說明(Description of Utility and Function):
Tapping Mode AFM
規格 (Specifications):
•  雜訊(noise):<0.05nm RMS in vertical (Z) dimension with acoustic vibration isolation
•  1% lateral accuracy (2% max.)
•  90um square XY imaging area , 4um Z range
•  Sample size : 150mm diameter , 12mm thick
•  Resolution noise:
   Level:0.5A
   Vertical resolution:0.1 A
   Lateral resolution: A level

二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.

三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel):

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. Kien-Wen Sun

(03) 5712121 ext 55631
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器管理者
Instrument administrator

賴良一 先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


四、對外開放服務時間(IV. Opening hours) :
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.

五、管理及服務辦法(V. User regulations)

1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)

1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)

1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 1500元/sample
業界( Corporation) 3000元/sample
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 15000/25 hr,19000/42 hr.
業界( Corporation) 30000/25 hr,38000/42 hr.
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 1500/sample)
業界( Corporation 3000/sample)

八、樣品規範(VIII. Sample specification)

1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

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一、儀器名稱:
中文名稱:電子顯微鏡
英文名稱: JSM-6500F SEM

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號: JEO L, JSM -6500F & NPGS
儀器購置年份:民國 91 年

三、放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,e-beam 實驗室


四、 服務項目:
1. SEM 功能。
2. 以破片晶片為主, Sample size小於50mm X 125mm X 125 mm


五、設備重要規格:

1. Max. Acc. Voltag e: 30keV
2. Lateral range 50mm X 50mm
3. Lateral resolution 1.5nm

六、設施服務須知:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 每週有 6 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由產業界優先預約使用。
3. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
4. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
6. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
孫建文 教授

03-5712121 #31589
03-5712121 #55631

儀器負責員

鄭慧雯 博士

(03) 5712121 ext 55632
(03) 5712121 ext 55641
hwcheng2011@gmail.com


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

電子顯微鏡

8:00-12:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

特殊服務或產業界

13:00-17:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

特殊服務或產業界

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 JSM-6500F SEM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

2.SEM自行操作訓練之申請方法
2-1 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-2 一般申請人需自行下載『 JSM-6500F SEM 一般使用者儀器使用、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-3 累積訓練時數達 15 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-4 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,上班時間之自行操作資格。
3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 JSM-6500F SEM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,填妥後以 E-mail 提出申請。
4-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:

JSM-6500F SEM:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1050(元/小時)
1600 ( 元/小時)

操作訓練

扣當期會費
時數15小時

不開放

年會員四十小時

400/小時

不開放

年會員八十小時

275/小時

不開放

 

十、儀器性能說明:
Line width 100nm


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一、 儀器名稱Instrument Name:
光罩對準曝光機 Mask Alignment and Exposure System

二、 放置地點Location:
交通大學奈米科技中心,固態電子大樓(舊 NDL)無塵室R115
NCTU CNST Solid-State Electronics Bldg. Clean Room R115

三、 廠牌及型號Vender/Model:
ABM Model 60 DUV/UV/NearUV (惟晶股份有限公司代理)
購置年份:民國92年Purchased in 2003

四、儀器規格Instrument spec:
Vacuum Chuck Motions

X,Y,Z and Theta

Z Motion Travel

0.250 inches

Proximity Adjust

Adjustable in 2.5 um increments

Mask Sizes

Interchangeable up to 9”X9”

Mask Frame Assembly

Lift: Pneumatic up/down

Alignment accuracy

Better than 0.5 um

Pneumatic Controls

Substrate, Mask, Contact, Cont Adj, Chuck Lock, N2, N2 Adj

Lamp

USHIO 500W DUV

五、 服務項目Service items:
1. 委託訓練: 機器介紹及訓練
Instrument training: Introduction to the instrument and training
2. 自行操作: 次微米線寬曝光製作
Independent-operation: exposure for sub-um pattern

六、儀器相關人員Instrument related personnel:

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. K. W. Sun

(03) 5712121 ext 55631
syhsu@cc.nctu.edu.tw

儀器負責員
Instrument administrator

鄭慧雯 博士
Dr. H. W. Cheng

(03) 5712121 ext 55632
hwcheng2011@gmail.com


七、 設施服務須知Facilities Service Information:
1. 本設備經考核可開放自行操作。本系統服務以 2 小時為 1 單元,每人每次最多預約 2 單元。
This equipment can be opened to Independent-operation after being qualified. The system service is based on 2 hours for 1 unit and each person can book up to 2 units at a time.
2. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
To cancel the reservation should be informed 48 hours before, and offenders eligible to stop the appointment a month.
3. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月
When accumulated about 3 times in one year, stop booking qualification for 6 months


八、服務申請流程Service application process:
1. 會員制度
Membership policy
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
This equipment is applicable to the membership policy of CNST
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
The membership policy is applicable to full-time teachers of University System of Taiwan
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 DUV Mask Aligner會員使用申請表暨經費轉帳核准單』
If you want to apply for membership, please download 『CNST Instrument use bills and NCTU CNST Experiment application form』of DUV Mask Aligner

2. Raman自行操作訓練之申請方法
Raman application method for Independent-operated training
2-1 申請人必須修過半導體製程相關課程。
Applicants must have taken courses related to semiconductor process.
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
The member who finish payment should contact instrument administrator for training details.
2-3 累積訓練時數達 6 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
Those who have accumulated more than 6 hours of training may apply to the instrument administrator for assessment
2-4 考核通過者,可於上班時段自行操作。請累積一定自行操作時數後再向管理員申請夜間及非上班時間自行操作資格(請洽管理員)。
If you pass the qualification, you can operate the instrument during work hours. Please accumulate a certain number of self-operating hours and apply to the administrator for self-operating at night and non-working hours (please contact the administrator).
2-5 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作 。
If the user has no record of Independent-operation for 6 consecutive months, please contact instrument administrator first and check if it is possible to open access for Independent-operation.
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作 。
If the user has no record of Independent-operation for 6 consecutive months, please contact instrument administrator first and check if it is possible to open access for Independent-operation.

3. 可以單獨使用Wet bench,需在預約儀器網頁的DUV-Wet bench頁預約。
Wet bench can be used by itself. Reservations must be made on the DUV-Wet bench page of the appointment instrument web page.

4. 預約自行操作之方法
Appointment for Independent-operation
4-1會員直接上網預約。
Members should make online reservations.
4-2 此項儀器開放通過考核者於上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
This instrument is open to Independent-operation after qualification during work hours. All users should fill out the instrument usage record in a detailed manner, and indicate any abnormal conditions. The offender shall cease to use instrument for 6 months.
4-3 請累積一定自行操作時數後再向管理員申請夜間及非上班時間自行操作資格(請洽管理員)。
Please accumulate a certain number of self-operating hours and apply to the administrator for self-operating at night and non-working hours (please contact the administrator).
4-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
If the instrument is damaged due to improper personal operation, CNST may require the operator's adviser to make reasonable compensation. If you damage the instrument and do not report this, they not only shall make compensation but also be ceased to use in the future.

5. 申請委託服務之方法
Appointment for commission-operation
5-1 本設備不開放委託服務。
This instrument does not open commissioned services

九、一般收費標準Equipment Use Fees:

項目Item 一般學術計畫Academia 產業界Industry
費用Fee 自行操作 Independent -operation DUV 220 (元/小時)
NTD$ 220/Hour 2000 (元/小時)
NTD$ 2000/Hour
Wet Bench 110 (元/小時)
NTD$ 110/Hour 500 (元/小時)
NTD$ 500/Hour
委託操作
Commission -operation 不開放 Close 不開放 Close
操作訓練Operation training 扣當期會費
時數10小時
Deduction 10 Hours from Membership 不開放 Close
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一、儀器名稱:

中文名稱:三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
英文名稱: ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: OXFORD INSTRUMENT S, Plasmalab System 100
儀器購置年份:民國 94 年

三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) R223

四、 服務項目:
1. SiN 、 GaAs 、 InP 材料之深度蝕刻

五、設備 重要規格: 1. 無

六、設施服務須知:


1. 本系統提供 SiN 、 GaAs 、 InP 三種材料破片(最大為2cmx2cm)之蝕刻,而保護層材料 (mask) 限用 P/R 、 PMMA 、 SiN 三種,嚴禁以金屬當保護 層,或 表面有金屬暴露者亦不准放入,違者停權 6 個月,再犯者永久停權。

2. 本設備經考核可開放自行操作。

3. 本系統每週開放服務 5 天,每週五下午為中心時段不開放。

4. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。

5. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。

6. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。

7. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李柏璁 教授

(03) 5712121 ext 31306

儀器負責博士後研究員

N/A

N/A

儀器操作技術員

N/A

N/A

儀器負責研究生

張哲嘉

(03) 5712121 ext 54219

王駿

(03) 5712121 ext 59341

儀器聯絡人

張哲嘉

(03) 5712121 ext 54219

gorillaz24@gmail.com


七、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師與學校單位使用
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 ICP/RIE 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,本機台僅開放儀器負責老師指定之學生和博士班學生,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 1 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 ICP/RIE 會員使 用申請表暨經費轉帳核准單 』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 ICP/RIE 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,外校者請先上過NDL課程,取得奈米中心門禁卡後,使可接受訓練。
2-4 累積訓練時數達見習4次和實作2次以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段或自行上網預約直接安排。
3-2 來電時 儀器聯絡人將詢問確切 的實驗材料及蝕刻深度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法 ( 未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請 )
4-1 自行下載『 ICP/RIE 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及蝕刻深度等實驗需求。
4-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人,申請人委託前請與儀器聯絡人洽談細節,每星期送件上限4小時。
4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

5. 各會員若有使用機台者,每月請提供一張SEM圖,以掌握機台狀況及建檔。


八、會員收費標準:

 

項目

一般學術計畫

費用

委託操作

1300 (元/時)

自行操作

800 (元/時)

操作訓練

1300(元/時)


        一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1800 (元/時)

3900 (元/時)

自行操作

800 (元/時)

不開放

操作訓練

1300(元/時)

不開放


九、蝕刻結果:


Fig. 1 SiN 之蝕刻 ( 上層結構為 PMMA 保護層 )


Fig. 2 GaAs 之蝕刻 ( 上層有 SiN 保護層 )


Fig. 3 InP 之蝕刻 ( 保護層為 SiN ,已去除 )
 

十、儀器性能說明:
ICPRIE製程腔體每半個月定期清腔一次,並於清腔完成後,讓pump抽回大約3E-6torr的真空,並作氣流量的測試,我們一次通入一種氣體,以電腦控制流量,確認氣體造成腔體內壓力是否穩定,並與出廠驗收時的測試值比較是否有偏差,以下是基台使用氣體的壓力測試報告。




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  一、儀器名稱:
中文名稱:低溫強磁場系統
英文名稱: Low Temperature / High Magnetic Field System
儀器英文簡稱:LTHMMOS
放置地點:國家奈米元件實驗室L419
儀器設備說明:
系統規格及型號:
  (1)機型:Oxford VTI 51/30
  (2)實驗溫度範圍:1.3 K ~ 4.2 K(超過此範圍,請與管理員討論可行性)
  (3)實驗磁場範圍:0 ~ 14 T
  (4)可提供之量測:低溫高磁磁光量測(包括電阻及I-V特性)
使用功能說明:
VTI (Variable Temperature Inserts)
經由液態氦做為冷媒,可將系統溫度降至1.3 K。系統本身配有超導磁鐵,可提供0 ~ 14 Tesla 之磁場。
分析技術特性:
可提供量測儀器:
  1. PMT detector
  2. InGaAs CCD Detector
  3. Monochrometer
  4. Lock-in Amplifier SR830
  5. Dual-Channel System SourceMeter Instrument Keithley 2602
  6. 6 1/2-digit Multimeter Keithley 2000
  7. Data Acquisition, Datalogging System Keithley 2700 with 7700 DMM Card.
  8. Programmable DC Supply Yokogawa 7651
  9. Two-Channel Dynamic Signal Analyzer SR785
可提供控制軟體:
  1. LabVIEW
二、設備服務須知:
本系統以學術研究為主,服務為輔。
本系統服務以一個試片基本以四小時做計算,未滿四小時以四小時計,超過四小時按小時數計算。詳請參照『五、對外開放服務時間』
本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、低溫強磁場磁光量測相關辦法』
本設備服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、服務辦法』
使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
三、儀器相關人員
儀器負責教授 李建平 教授

孫建文 教授

孫允武 教授

03-5712121 #55629

03-5712121 #55631

04-22840427 #398

儀器管理者 李良箴博士 03-5712121 #55634

lcli@faculty.nctu.edu.tw

四、低溫強磁場磁光量測相關辦法
本設備目前試用儲值卡制度。
欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後,yijuliou@mail.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』
五、試行對外開放服務時間
週一~週五 上午8:00~晚上24:00
六、服務辦法
  1. 本機台為A級機台,需透過學術合作方式申請使用,預申請使用者請先與儀器管理員連絡並請指導教授與儀器負責教授進行實驗討論評估。
  2. 本服務採取序號預約。詳填使用者與試片資訊後,請e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
  3. 申請人按通知時間至實驗室做光路調校及試片測試。
  4. 由於低溫實驗之特殊性,申請人需在現場共同進行實驗。
  5. 由於保持低溫實驗環境需要大量資源,所以實驗操作有其固定時間,會視實驗者狀況調整時間,故只能按預約順序排序,無法確定等候時間長短。
  6. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
  7. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準
七、自行操作訓練與考核辦法
  1. 自行操作分為部份自行操作者與全程自行操作者。
  2. 所有操作者都需先通過國家奈米元件實驗室之「半導體材料分析技術與見習」之課程訓練。
  3. 部份自行操作者僅可操作量測儀器端之系統,並不包括低溫環境操作。而全程自行操作者則為已受過適當低溫操作之使用者,由本中心評估並決定是否接受訓練申請,其詳細辦法如下。(開放初期,每位指導教授先以一名博士班學生為原則)
  4. 詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將回覆您的使用申請。請於申請核可後以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
  5. 部份自行操作新訓人員累積訓練時數達 10hr以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。全程自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達 10hr以上及所有低溫操作時數達 20hr以上者,方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作系統
  6. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
  7. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
  8. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
八、收費標準
  1. 操作費用

  2. 儀器使用費:NT$1500/day,未滿一天以一天計
    雷射使用費用則另計:
    Ti-Sapphire Laser:NT$300/hr;
    532nm Laser:NT$200/hr;
    325nm Laser:NT$300/hr;
  3. 會員儲值

  4. 會員儲值為A項儀器使用費加上B項中雷射的儲值費用,B項中a~c可同時選擇,但若選用d則不可搭配a~c之優惠價格。
    A. 儀器使用費
    □ a.單位儲值15000元(12天)。
    B. 雷射使用費
    □ a.單位儲值費用Ti-Sapphire Laser 10000元(35小時)。
    □ b.單位儲值費用532nm Laser 10000元(55小時)。
    □ c.單位儲值費用325nm Laser 10000元(35小時)。
    □ d.單位儲值費用多種 Laser 10000元(40小時)。
    C. 液氦以時價另計
九、送測樣品規範
  1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,所需溫度未達4K以下之樣品,建議至其他適當設備使用,以充分發揮本儀器之功能。
  2. 使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

  3. (1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,(2).除需直接下至4K以下方有結果的樣品外,皆需經室溫及77K之測試,方能送件 (3).電射照射下會分解或釋出氣體之樣品,若有影響腔體造成結冰污染之虞,本單位有權拒絕受理 (4).具鐵磁性樣品或材料及樣品座會影響到磁鐵正常運作,本單位有權拒絕受理。
  4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格
  5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格
  6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。

儀器性能說明

  1. PMT detector (Response: 300-1750nm wavelength; LN2 cooling to -80)
  2. InGaAs CCD Detector (Response:800~1700nm wavelength; LN2 cooling to 180K; 1024*1 pixels CCD array; Resolution:~0.06nm wavelength in 320mm monochromator with the grating with 1200 groove/mm)
  3. Monochrometer (Focal length = 320nm; F/# = 4.1; Resolution = 0.06nm; Dispersion = 2.64 nm/mm)

 

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一、儀器名稱:
手套箱 ;
英文名稱: Glove Box with Gas Purification System ;
英文簡稱: Glove Box

二、設施服務須知 :

1. 本系統以學術研究為主,服務為輔。
2. 本設備提供給擁有博愛校區奈米中心實驗室門禁卡之研究生自行使用,但該研究生必須具備操作手套箱之經驗。

3. 研究生欲使用該手套箱前,必須事先告知 儀器負責教授 。
4. 手套箱只准固體非揮發性物質進入,使用完畢必須將箱體內外完全清理乾淨並填寫 使用紀錄表 ,違者永久取消其使用資格。
5. 本系統每週開放服務 6 天,每週五預設為設備維護保養時間。
6. 儀器相關人員:

儀器負責教授

韋光華 教授

(03) 5712121 ext 31871
khwei@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

N/A

 

儀器負責研究生

李中斌 先生

(03) 5712121 ext 55348 binbinlee.mse89g@nctu.edu.tw

儀器聯絡人

李中斌 先生

(03) 5712121 ext 55348 binbinlee.mse89g@nctu.edu.tw


三、對外開放服務時間如下表所列:
上午 08:00-12:00 / 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

手套箱

8:00-10:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

10:00-12:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

13:00-15:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

15:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

  附註: * 內部維護或技術發展與訓練不接授預約

四、服務申請流程:
1. 自行操作訓練之申請方法
1-1 本設備提供給擁有博愛校區奈米中心實驗室門禁卡之研究生自行使用,但該研究生必須具備操作手套箱之經驗,本中心不另行訓練。
2. 預約自行操作之方法
2-1 研究生可隨時使用本設備,不需預約,但必須事先告知 儀器負責教授 。
2-2 凡使用本設備者,應自行詳細確實的填寫 使用紀錄表 ,違者永久取消其使用資格。
3. 申請委託服務 之方法
3-1 本設備 不開放委託服務 。

五、收費標準 :

 

規格與單位

(元/小時)

(元/小時)

(元/小時)

Daily

Weekly

備註

使用費

委託操作

不開放

不開放

不開放

 

 

 

自行操作

0

0

不開放

備註:

1. 規格 :只准固體非揮發性物質進入,使用完畢必須將箱體內外完全清理乾淨

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  一、儀器名稱:
中文名稱:離子剪薄機
英文名稱:PRECISION ION POLISHING SYSTEM
  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: Gatan Model 691
儀器購置年限: 民國93年11月
  三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室
  四、服務項目: 無機材料TEM試片製備
  五、設備重要規格:
Ion source
Ion Guns
Two Penning ion guns with miniature rare earth magnets
Milling Angle
+10° to -10°, Each gun independently adjustable
Ion Beam Energy
1.5keV to 6keV
Vacuum
Dry Pumping System
Molecular drag pump backed by a 2-Stage diaphragm pump
Pressure
5E-6Torr base pressure, 8E-5Torr operating pressure
Vacuum gauge
Penning type for main chamber. Solid-state for backing pump
Specimen airlock
Gatan Whisperlok , specimen exchange time <30 seconds

  六 、設施服務須知:
1. 因人力不足,目前僅開放自行操作。使用者需在其他同型機台具使用資格者方能申請考核。
2. 若需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。
3. 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
4. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
韋光華 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

鐘怡娟 小姐

(03)5712121 ext 55636
ichuan@cc.nctu.edu.tw


  七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

PIPS

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

13:30-17:00

國家型計畫

儀器發展
(本中心使用時段)

特殊服務或產業界委託服務

一般國科會

例行維護


  八、服務申請流程 :
1. 自行操作申請方法
(1). 與儀器負責人員聯絡申請使用考核,並下載實驗室儀器使用、訓練申請表暨經費轉帳核准單。
(2). 填完表單請email至jennyho@mail.nctu.edu.tw,四個工作天內會收到回覆。
(3). 考核通過 與 繳完費用後,即可自行操作。2. 委託操作申請方法
因人力不足,目前並不開放委託操作。 若急需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。

 
備註
  • 1. 試片準備以自行研磨為原則,欲使用離子研磨機者,試片需減薄至30μm以下。
  • 2. 使用者於申請前,請先與儀器管理人聯絡。

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  一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:太陽光擬模器
Instrument:Solar simulator/ Sun simulator

儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model):伯堅科技-XES-100S1
放置地點:固態電子系統大樓R 150
Location:Solid-State Electronics Building R 150

使用功能說明(Description of Utility and Function):
太陽能電池I-V量測功能
Solar cell I-V measurement.

規格 (Specifications):
波長範圍(Wavelength range):400~1100nm
樣品尺寸(Sample size):Max.156 x 156 mm
光徑(beam size):101.6*101.6mm

  二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.
  三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. Kien-Wen Sun

03-5712121 #55631

儀器管理者
Instrument administrator

賴良一 先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


  四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.
  五、管理及服務辦法(V. User regulations)
1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.
  六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.
  七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)
1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 700元/hr
業界( Corporation) 1400元/hr
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 8500/40 hr
業界( Corporation) 17000/40 hr.
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 700/hr)
業界( Corporation 1400/hr)
  八、樣品規範(VIII. Sample specification)
1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.
 

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  一、儀器簡介:
儀器中文名稱:低溫電性量測平台
儀器英文名稱:Cryogenic Probe Station
儀器英文簡稱:LTHMMOS

放置地點:國家奈米元件實驗室L419

儀器設備說明:
系統規格及型號:
     (1)機型:CG-196
     (2)實驗溫度範圍:77 K ~ 室溫(超過此範圍,請與管理員討論可行性)
     (3)可提供之量測:奈米電性元件在低溫、真空環境下之電性量測操作。

使用功能說明:
經由液態氮做為冷媒,可將系統溫度降至77 K。

儀器性能:
     (1) 達-3 torr 或更好之真空腔體
     (2)溫度調控77K~480K
     (3)最小漏電流為10pA
     (4)能提供最大四組開口供精密移動量測探針
     (5)精密移動探針最高步進解析10微米
     (6)觀測物鏡倍率14X ~ 90X
  二、設備服務須知:
本系統服務以一小時為單位做計算,詳請參照『五、對外開放服務時間』。 本設備目前適用會員優惠制度,詳細辦法請參照『四、低溫電性量測系統相關辦法』 本設備服務採取網路預約,其詳細辦法請參照『六、服務辦法』。 使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
  三、儀器相關人員:

儀器負責教授

孫建文 教授

03-5712121 #55631

儀器管理者

李良箴博士

(03) 5712121 ext 55634
lcli@faculty.nctu.edu.tw


  四、低溫電性量測平台相關辦法:
欲申請者(以指導教授為申請對象),詳填實驗申請表資訊後,Email至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,四個工作天內會收到回覆或討論細節(特殊情況或內容則稍遲回覆)。
申請核可後,於機台使用與委託服務當天前,繳納儀器負責人員依據使用時間斟酌之使用費用,請參照『八、收費標準』。
  五、對外開放服務時間:
週一~週五 上午8:00 ~ 下午5:00
  六、服務辦法:
1. 欲申請使用者請先與儀器管理員連絡進行實驗討論評估。
2. 本服務採取序號預約。詳填使用者與試片資訊後,請e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
3. 申請人按通知時間至實驗室試片測試。
4. 由於低溫實驗之特殊性,申請人需有同伴在現場共同進行實驗。
5. 由於保持低溫實驗環境需要大量資源,所以實驗操作有其固定時間,會視實驗者狀況調整時間,預約低溫環境實驗需先通知管理員。
6. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
7. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』
  七、自行操作訓練與考核辦法
1. 自行操作分為室溫自行操作者與全程自行操作者。
2. 室溫自行操作者僅可操作量測儀器端之系統,並不包括低溫環境操作。而全程自行操作者則為已受過適當低溫操作之使用者,由本中心評估並決定是否接受訓練申請
3. 詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將回覆您的使用申請。請於申請核可後以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
4. 室溫自行操作新訓人員累積訓練時數達 10hr以上者,或經本中心管理員開設之訓練課程者,方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。全程自行操作新訓人員需會先取得室溫自行操作資格後,經低溫操作訓練後,方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作系統。
5. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
7. 本系統訓練費用另計。
  八、收費標準:
1. 訓練費用
室溫儀器訓練費5000元/次。(一次為4小時訓練課程,單次可同時訓練2人)。
低溫儀器訓練費6000元/次。(一次為4小時訓練課程,單次可同時訓練2人)。
使用費用:

學術單位

業界單位

自行操作

委託操作

委託操作

900元/小時

1800元/小時

3600元/小時


液態氮依用量另計。
2. 會員優惠
(a) 兩線量測會員使用25小時16000元。
(b) 三線以上量測會員使用25小時20000元。
液態氮費用一次實驗加收兩小時費用,並無優惠辦法。
  九、送測樣品規範
1. 使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:
(1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度。(2).在受熱或樣品本身會分解或釋出氣體之樣品,若有影響腔體造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。(3)樣品最大不得大於20 mm x 20 mm。(4).粉末或液體等樣品會影響到系統正常運作,本單位有權拒絕受理。
2. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
3. 委託操作者上機前,會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
4. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
 

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  一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)
儀器名稱:
中文名稱:原子力顯微鏡(Edge)
Instrument: Atomic Force Microscope (Edge)
儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
機型 (System model): Digital Instrumen t, Dimension Edge
放置地點:固態電子系統大樓R 103
Location:Solid-State Electronics Building R 103
使用功能說明(Description of Utility and Function):
Tapping Mode AFM
規格 (Specifications):
Edge XY sensor noise: <0.5nm RMS
Vertical Noise Floor<0.05nm
90um square XY imaging area
9um Z range
Sample size:150mm diameter

  二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)
本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.



  三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)

儀器負責教授
Instruction supervisor

孫建文 教授
Prof. Kien-Wen Sun

(03) 5712121 ext 55631
(03) 5712121 ext 55681
kwsun@mail.nctu.edu.tw

儀器管理者
Instrument administrator

賴良一 先生
Rex Lai

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw

  四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)
週一~週日 00:00~晚上24:00
00:00~24:00 from Monday to Sunday.
  五、管理及服務辦法(V. User regulations)
1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.
  六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)
1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
All qualified users are obligated to train new personnel.
5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.
  七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)
1. 委託操作費用(Commissioning fee )
學術單位(Academic institute) 1500元/sample
業界( Corporation) 3000元/sample
2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
學術單位(Academic institute) 15000/25 hr,19000/42 hr.
業界( Corporation) 30000/25 hr,38000/42 hr.
3. 自行操作訓練 (Training fee)
若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
若委託本中心代為訓練,費用為:
If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
學術單位(Academic institute 1500/sample)
業界( Corporation 3000/sample)
  八、樣品規範(VIII. Sample specification)
1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.
 

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一、 儀器名稱Instrument Name:
高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀 High Resolution Confocal Raman Microscope

 

二、 放置地點Location:
交通大學奈米科技中心,固態電子大樓(舊 NDL )B1 拉曼實驗室
NCTU CNST Solid-State Electronics Bldg. B1 Raman Lab

 

三、 廠牌及型號Vender/Model:
HOROBA, Lab RAM HR (昇航股份有限公司代理)
購置年份:民國97年10月Purchased in October, 2008

 

四、儀器規格Instrument spec:

Laser

488 nm - DPSS
532 nm - DPSS
632.8 nm - He-Ne 20 mW

Olympus objectives

10X - N.A. = 0.25
50X - N.A. = 0.70
100X - N.A. = 0.9
100LX - N.A. = 0.35

Stage

Motorized stage x and y controlled by Joystick

Focus graduation

1 um

 

五、 服務項目Service items:
1.接受委托代工.
We accept commissioned OEM.
2.不接受粉末材料。
We don’t accept powder material.

 

六、儀器相關人員Instrument related personnel:

儀器負責教授
Instruction supervisor

李建平 教授
Prof. C. P. Lee
孫建文 教授
Prof. K. W. Sun

03-5712121 #31589
03-5712121 #55631

儀器管理者
Instrument administrator

鄭慧雯 博士
Dr. H. W. Cheng

(03) 5712121 ext 55632
(03) 5712121 ext 55641
hwcheng2011@gmail.com

P.S. 可與以上機台負責人聯絡討論實驗合作可能性
P.S. Contact with the instrument related personnel to discuss the possibility of experimental cooperation

 

七、 設施服務須知Facilities Service Information:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
This equipment can be opened to self-operation after being qualified.
2. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
To cancel the reservation should be informed 48 hours before, and offenders eligible to stop the appointment a month.
3. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月
When accumulated about 3 times in one year, stop booking qualification for 6 months


 

八、服務申請流程Service application process:
1. 會員制度
Membership policy
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
This equipment is applicable to the membership policy of CNST
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
The membership policy is applicable to full-time teachers of University System of Taiwan
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 Lab RAM HR Confocal Microscope 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』
If you want to apply for membership, please download 『CNST Instrument use bills and NCTU CNST Experiment application form』of Lab RAM HR Confocal Microscope

2. Raman自行操作訓練之申請方法
Raman application method for self-operated training
2-1 每位指導教授開放一位學生受訓名額。
The training quota is one student for one adviser.
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
The member who finish payment should contact instrument administrator for training details.
2-3 一般申請人需自行下載『Lab RAM HR Confocal Microscope 一般使用者儀器使用、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
If you want to apply for training, please download『CNST Instrument use bills and NCTU CNST Experiment application form』of Lab RAM HR Confocal Microscope and finish all application process, then contact instrument administrator for training details.
2-4 累積訓練時數達 3 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
Those who have accumulated more than 3 hours of training may apply to the instrument administrator for assessment.
2-5 考核通過者,可於上班時段自行操作。
If you pass the qualification, you can operate the instrument during work hours.
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作 。
If the user has no record of self-operation for 6 consecutive months, please contact instrument administrator first and check if it is possible to open access for self-operation.

3. Raman 量測檔案請用自備的CD-ROM存取,禁用隨身碟。
Please prepare CD-ROM to take your Raman measurement results. Don’t use USB.

4. 預約自行操作之方法
Appointment for self-operation
4-1會員直接上網預約。
Members should make online reservations.
4-2 此項儀器開放通過考核者於上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
This instrument is open to self-operation after qualification during work hours. All users should fill out the instrument usage record in a detailed manner, and indicate any abnormal conditions. The offender shall cease to use instrument for 6 months.
4-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
If the instrument is damaged due to improper personal operation, CNST may require the operator's adviser to make reasonable compensation. If you damage the instrument and do not report this, they not only shall make compensation but also be ceased to use in the future.
4-4 量測完成,請關閉雷射。未關閉者,自實驗完成時間算起到發現的時間為止,以此時段的1/3扣除該會員的使用時數,並將該學生停權三週。
After measurements, please turn off the laser. If it is not turned off, the time from the completion of the experiment is counted up until the time of discovery. In that period, one-third of the time is deducted from the quota of the member, and the student is suspended for three weeks.

5. 申請委託服務之方法
Appointment for commission-operation
5-1 自行下載『 Lab RAM HR Confocal Microscope 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,填妥後以 E-mail 提出申請。
Fill CNST Instrument use bills and NCTU CNST Experiment application form of Lab RAM HR Confocal Microscope (Email to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw)
5-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
CNST will review the spec of the experiment and check if we will receive commission or not.
5-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
The applicant should send the samples to the instrument administrator one day before the scheduled time.
5-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。
The instrument administrator may request the applicant to conduct experiments together if needed.

 

九、一般收費標準Equipment Use Fees:

項目 Item

一般學術計畫 Academia

產業界 Industry

費用 Fee

委託操作
Commission-operation

1600 (元/小時 )
NTD$ 2100/Hour

2100 (元/小時)
NTD$ 3200/Hour

自行操作
Self-operation

630 (元/小時 )
NTD$ 1050/Hour

不開放 Close

操作訓練
Operation training

扣當期會費,以3小時委託額度
Deduction 3 Hours Commission operation quota from Membership

不開放 Close

會員
Membership

40小時25200 元(630元/小時)
40 hrs NTD$ 25200 (NTD$ 630/Hour)
80小時37600 元(470元/小時)
80 hrs NTD$ 37600 (NTD$ 470/Hour)

不開放 Close

 

 

一、儀器名稱:
中文名稱:電子束微影系統
英文名稱:E-beam Lithography System (ELS - 7500EX)

  二、放置地點:交通大學奈米科技中心,固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓
 

三、重要規格:
廠牌及型號:ELS - 7500EX
購置年份:民國97年2月
Water size:10mm*10mm ~ 6"wafer
Capable of drawing lines as fine as 10nm
E-beam positioning with 0.31 nm resolution

四、 服務項目:
1.接受委托代工.
2. E-Beam write Substrate以導電為主,
如 S i、 GaA s、 In P、 GaN 等,(請先告知)不接受磁性材料。
3. E-Beam若要對準前層圖形,請事先告知並製作 Alignment Mark.

五、儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
孫建文 教授

03-5712121 #31589
03-5712121 #55631

儀器負責員

鄭慧雯 博士

(03) 5712121 ext 55632
(03) 5712121 ext 55641
hwcheng2011@gmail.com


P.S. 可與以上機台負責人聯絡討論實驗合作可能性

六、設施服務須知:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
3. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月

七、儀器性能說明:

  • Electron beam diameter
  • 2nm(min)
  • Line width
  • 10nm(min) (50kV)
  • Stitching accuracy
  • 30nm
  • Overlay accuracy
  • 30nm
  • Scanning field
  • 2,400μm x 2,400μm(at 20kV)
    1,200μm x 1,200μm, 600μm x 600μm,
    300μm x 300μm, 150μm x 150μm, 75μm x 75μm
  • Beam positioning
  • Beam positioning by 18bit DAC
    Max 240,000 x 240,000
  • Beam positioning resolution     
  • 0.31nm
  • Pattern elements
  • Vertical, Horizontal, Oblique lines
    Rectangle
    Triangle
    Quadrilateral
    Disk
    Circle, Cirumference, Arc(option)

    八、服務申請流程:
    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 ELS-7500EX E-beam 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

    2. E-Bean自行操作訓練之申請方法
    2-1 僅開放予必須長期使用該機台之博士班學生(如計畫負責教授無博士生,請與中心洽談)自行操作,有意申請者必須事先洽詢儀器負責教授,由儀器負責教授評估當年度該機台允許使用人數是否已達上限,以決定是否接受新訓練申請案。
    2-2 訓練時段訂於每年三、七、十一月份各開放三個名額。
    2-3 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 一般申請人需自行下載『 ELS-7500EX E-beam 一般使用者儀器使用、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-5 累積訓練時數達 30 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-6 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,上班時間之自行操作資格。
    2-7 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作 。

    3.非E-Beam 相關製程請勿使用.

    4. 預約自行操作之方法
    4-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
    4-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
    4-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    5. 申請委託服務之方法
    5-1 自行下載『 ELS-7500EX E-beam 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,填妥後以 E-mail 提出申請。
    5-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
    5-3 申請人於預約時段前 2 天 將試片及 Auto CAD 檔案送交儀器聯絡人。
    5-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。


    九、一般收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    2100 ( 元 / 小時 )

    3200 ( 元/小時)

    自行操作

    1050( 元 / 小時 )

    不開放

    操作訓練

    扣當期會費
    時數10小時

    不開放

    年會員四十小時

    1050/小時

    不開放


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    一、儀器名稱:

    中文名稱:電漿輔助化學氣相沉積系統
    英文名稱: Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
    廠牌及型號: OXFORD INSTRUMENTS,Plasmalab80Plus
    儀器購置年份:民國 98 年

    三、放置地點:
    光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) R222

    四、 服務項目:
    SiO2、Si3N4材料之沉積

    五、設備 重要規格:
    製程平台為八吋的圓盤,製程溫度範圍為80~300℃

    六、設施服務須知:
    1. 本系統提供SiO2、Si3N4材料之沉積。
        使用上除了完整晶圓,破片也可以用,若過小的破片需用中心準備的片子作為擋片,基板材料限制為Si和三五族的基材。
    2. 可在低溫下,進行含有金屬的試片製程,但所要進去的金屬種類要先行告知,以利機台管理人進行管理。
    3. 本設備經考核可開放自行操作。
    4. 本系統每週開放服務 5 天,每週五下午為中心時段不開放。
    5. 本系統服務以一小時為一單元,請遵照規定預約,違者停權兩個星期處分。
    6. 每週有八單元由國家型計畫優先預約使用,六單元由一般學術計畫優先預約使用,另二單元由產業界優先預約使用。
    7. 每人每次最多預約兩單元 。
    8. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
    9. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    10. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。

    11. 儀器相關人員:


    儀器負責教授

    林國瑞 教授

    (03) 5131289

    儀器負責博士後研究員

    N/A

    N/A

    儀器操作技術員

    N/A

    N/A

    儀器負責研究生

    張哲嘉

    (03) 5712121 ext 54219

    儀器聯絡人

    張哲嘉

    (03) 5712121 ext 54219 gorillaz24@gmail.com

     

    七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
    上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00


    時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    電漿輔助化學氣相沉積系統

    8:00-10:00

    例行維護

    一般學術計畫

    國家型計畫

    產業界

    國家型計畫

    10:00-12:00

    例行維護

    一般學術計畫

    國家型計畫

    產業界

    國家型計畫

    13:00-15:00

    儀器技術發展與訓練

    一般學術計畫

    國家型計畫

    一般學術計畫

    國家型計畫

    15:00-17:00

    儀器技術發展與訓練

    一般學術計畫

    國家型計畫

    一般學術計畫

    國家型計畫

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接受預約

     

    八、服務申請流程:

    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師與學校單位使用
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 PECVD 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,本機台僅開放儀器負責老師指定之學生和博士班學生,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 1 人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 PECVD 會員使 用申請表暨經費轉帳核准單 』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『 PECVD 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,外校者請先上過NDL課程,取得奈米中心門禁卡後,使可接受訓練。
    2-4 累積訓練時數達見習4次和實作2次以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
    2-6 考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
    3-2 來電時 儀器聯絡人將詢問確切 的實驗材料及沉積厚度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
    3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
    3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法 ( 未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請 )
    4-1 自行下載『 PECVD 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
    4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及沉積厚度等實驗需求。
    4-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人,申請人委託前請與儀器聯絡人洽談細節,每星期送件上限4小時。
    4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。
    5. 各會員若有使用機台者,每次使用請提供製程參數與膜厚,以掌握機台狀況及建檔。

    九、收費標準:

    會員收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    費用

    委託操作

    1500(元/小時)

    自行操作

    450(元/小時)

    操作訓練

    1500(元/時)


    一般收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    1500 (元/小時)

    3200 (元/小時)

    自行操作

    不開放

    不開放

    操作訓練

    不開放

    不開放

    十、儀器性能說明:

    可以沉積SiO2, Si3N4的薄膜, 並可就製程參數的調整來改變膜的鍍率, 折射率, 應力和抗蝕刻能力以合己用.

     


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      一、儀器名稱:
    儀器中文名稱:光學監控鍍膜系統
    儀器英文名稱:Coating System with Optical In-situ Monitor

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
    廠牌及型號:崗勝科技有限公司 KS-800OPTO
    儀器購置年份:民國98年

    三、放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊NDL)R223

    四、服務項目:
    1. Ta2O5、TiO2、HfO2、SiO2、Si材料之蒸鍍

    五、設備重要規格:
    1. 他是一個含plasma的Ion gun source助鍍
    2. 具有光學監控系統監控光學鍍膜厚度
    3. 樣品可接受2吋、3吋、4吋wafer以及破片
    4. 鍍膜系統可接受最高溫度為270度

    六、設施服務須知:
    1. 本系統提供Ta2O5、TiO2、HfO2、SiO2、Si五種材料之蒸鍍,而保護層材料(mask)限用非揮發物質,嚴禁任何揮發物質、有機物質放入腔體,違者停權6個月,再犯者永久停權。
    2. 本設備經考核可開放自行操作。
    3. 本系統每週開放服務4天,每週一為設備維護保養及訓練時間。
    5. 本系統服務以四小時為一單元,總計每週開放服務八單元。
    8. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
    9. 預約後欲取消須於24小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    10. 一年內累積爽約3次,停止預約資格六個月。
    11. 儀器相關人員:
    儀器負責教授 盧廷昌 教授 (03) 5712121 ext 31234
    林國瑞 教授 (03) 5712121 ext 31289
    儀器負責博士後研究員 N/A N/A
    儀器操作技術員 N/A N/A
    儀器負責研究生 張祖齊 (03) 5712121 ext 56354
    tsuchi.eo02g@g2.nctu.edu.tw
    儀器聯絡人 張祖齊 (03) 5712121 ext 54240

    七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
    上午08:00-12:00/下午13:00-17:00

    時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    光學蒸鍍機

    8:00-12:00

    例行維護

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    13:00-17:00

    例行維護

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: *若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

    八、服務申請流程:
    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於台灣各大學
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『光學監控鍍膜系統 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為1人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯『光學監控鍍膜系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『光學監控鍍膜系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 需使用離子槍助鍍者,累積訓練時數達30小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核;若無需使用離子槍者,累積訓練時數達15小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
    2-6 考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或E-mail與儀器聯絡人洽詢空白時段直接安排。
    3-2 來電時儀器聯絡人將詢問確切的實驗材料及鍍膜厚度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
    3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格3個月。
    3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法 (未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請)
    4-1 自行下載『光學監控鍍膜系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
    4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及鍍膜厚度等實驗需求。
    4-3 申請人於預約時段前1天將試片送交儀器聯絡人。
    4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費調整:

    項目

    學術計畫

    產業界

    費用委託操作

    1000(元/小時)

    1000(元/小時)

    自行操作

    3600(元/次)

    不開放

    操作訓練

    2250(元/次)

    不開放


    十、鍍膜結果:
      
    Fig. 1 SEM images of Ta2O5/SiO2 19 layers with Ion gun deposited on GaN surface

    Fig. 2 反射率頻譜(Ta2O5/SiO2 19 layers with Ion gun)


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    一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)


    儀器名稱:
    中文名稱:紫外/可見/紅外光 分光光譜儀/
    Instrument:Variable-angle UV/VIS/NIR Spectrophotometer
    儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
    機型 (System model):Hitachi U-4100
    放置地點:固態電子系統大樓R 150
    Location:Solid-State Electronics Building R 150

    使用功能說明(Description of Utility and Function):
    本系統提供固體樣品反射率、穿透率量測。固體樣品測量窗口15*15mm,樣品需完整覆蓋,照光面積為5*5mm。
    The system provides solid sample reflectivity and transmittance measurements. The solid sample measurement is 15*15mm, and the sample needs to be covered completely. The illumination area is 5*5mm.

    規格 (Specifications):
    波長範圍(Wavelength range):240~2600nm
    可變角度)Variable angle):10 to 60 deg. (in 10 deg. steps)
    樣品尺寸(Sample size):Max.430 x 430 mm
    偵測器(Detector):光電倍增管(UV/Vis)、恆溫冷卻式Pbs(NIR)、
    60mm直徑積分球硫酸鋇鍍膜

    二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)


    本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
    For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
    本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
    Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
    使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
    For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
    取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
    Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
    一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
    Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
    本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
    To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.

    三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)


    儀器負責教授
    Instruction supervisor

    孫建文 教授
    Prof. Kien-Wen Sun

    03-5712121 #55631

    儀器管理者
    Instrument administrator

    賴良一先生
    Rex Lai

    03-5712121 #55637
    rexlai@cc.nctu.edu.tw


    四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)


    週一~週日 00:00~晚上24:00
    00:00~24:00 from Monday to Sunday.

    五、管理及服務辦法(V. User regulations)


    1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
    The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
    2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
    Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
    3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
    Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
    4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
    The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
    5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
    The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
    6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
    Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
    7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
    Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
    8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
    Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

    六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)


    1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
    The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
    2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
    Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
    3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
    Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
    4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    All qualified users are obligated to train new personnel.
    5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
    Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
    6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
    Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
    7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
    The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

    七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)


    1. 委託操作費用(Commissioning fee )
    學術單位(Academic institute) 1000元/hr
    業界( Corporation) 2000元/hr
    2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
    學術單位(Academic institute) 17000/40 hr
    業界( Corporation) 34000/40 hr.
    3. 自行操作訓練 (Training fee)
    若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
    若委託本中心代為訓練,費用為:
    If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
    學術單位(Academic institute 1000/hr)
    業界( Corporation 2000/hr)

    八、樣品規範(VIII. Sample specification)


    1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
    Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
    3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
    Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
    4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
    If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
    5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
    In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
    6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
    If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

    Top
     

     

    一、 儀器簡介 (I. Introduction of instrument)



    儀器名稱:傅氏紅外線光譜儀
    Instrument: Fourier Transform Infrared Spectrometer (FTIR)

    放置地點:國家奈米元件實驗室L419
    Location: National Nano Device Laboratory L419

    儀器設備說明 (Description of system model and specifications):

    (1)機型 (System model):Bruker IFS66V/S
    (2)規格 (Specifications):
    Wavelength: 7500-160 cm-1
    IFS66V/S stepper scanner
    PAD 28a card,
    Mid-IR time-resolved spectra: resolution = 5 ns
    Fine spectral resolution:0.25 cm-1。
    Opened cycle cryogenic system: RT~4K

    二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument):


    本系統服務以收費標準按小時計費。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
    For our FTIR, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
    本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
    Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
    使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
    For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”
    取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
    Reservation cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
    一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
    Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
    本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
    To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”

    三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)


    儀器負責教授
    Instruction supervisor

    顏順通 教授
    Prof. S.T. Yen

    03-5712121 #31472

    儀器管理者
    Instrument administrator

    李良箴博士
    Dr. L. C. Li

    03-5712121 #55634
    lcli@faculty.nctu.edu.tw

    四、對外開放服務時間 (IV. Opening hours)


    週一~週五 上午8:00~下午17:00。
    8:00~17:00 from Monday to Friday.

    五、管理及服務辦法 (V. User regulations)


    1. 本機台為A級機台,需透過學術合作方式申請使用,預申請使用者請先與儀器管理員連絡並請指導教授與儀器負責教授進行實驗討論評估。
    The system is classified as a Grade A instrument, and operation can be carried out by the academic cooperation. Please contact the administrator first. Details of cooperation project should be discussed with the instruction supervisor by your supervisor.
    2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
    Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
    3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『FTIR實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
    Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “FTIR application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument administrator via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
    4. 申請人按通知時間至實驗室做光路調校及試片測試。
    The applicant will be informed the time for calibration of optical path and measurement. Please arrive the lab on time.
    5. 由於實驗操作(如控溫等過程)有其所需之時間,會視實驗者狀況調整時間,故只能按預約順序排序,無法確定等候時間長短。
    Because some experimental procedures, such as temperature control, can not be interrupted, the ending time of the experiment is not predictable. The process of the measurement will be adjusted according to the progress of the experiment. The reservation will be in the order of reserved number. The exact timetable is not available.
    6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
    Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
    7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
    Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
    8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
    Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

    六、自行操作訓練與考核辦法 (VI. Guideline for independent operation and evaluation.)


    1. 本系統自行操作以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
    The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
    2. 申請者上網下載並填寫『FTIR實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。申請核可後,管理員會以E-mail將『見習訓練紀錄表』寄予申請人,在申請人見習時數完成後,可email與管理員洽詢上機訓練時段。
    Applicants should download the “FTIR application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to lcli@faculty.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible. Once the application is approved, the administrator will email a log sheet for the probationary training to the applicant. Upon completion of probationary training, the applicant can contact the administrator for the booking of hands-on training.
    3. 自行操作分為部份自行操作者與全程自行操作者。部份自行操作者僅可操作量測儀器端之系統,並不包括整體儀器環境操作。而全程自行操作者則為已受過適當操作訓練之使用者,由本中心評估並決定是否接受訓練申請。
    There are two kind of independent operation licenses: partially and fully operating users. For partially operating users, they are only allowed to operate the measuring system. Controlling the cryogenic chamber and adjusting optical system are forbidden. Those applying the fully operating user license need to be go through properly hands-on training after they have the partially operating user license.
    The rights of permission for fully operating user training is reserved.
    4. 本機台訓練時數其規定如下:
    a. 部份自行操作新訓人員累積訓練時數達 10hr以上者方可向儀器負責人申請考核。
    b. 全程自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達 10hr以上及所有儀器操作時數達20hr以上者,方可向儀器負責人申請考核。
    The regulations of training program are:
    a. For the partially operating license, the user has to accumulate 10 hours of hands-on training before applying for qualification.
    b. Once the user accumulates over 10 hours of partially independent operation, he may apply for the hands-on fully operating training. After accumulating over 20 hours of hands-on fully operating training, he may apply for fully operating evaluation.
    5. 訓練時數達到上述之時數後,可向管理員申請考核。考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達30小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
    Those who have accumulated the above-mentioned hours of training can approach the administrator for the evaluation application. Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 30 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
    6. 所有操作者都需先通過國家奈米元件實驗室之「半導體材料分析技術與見習」及工安之課程訓練。
    All users have to pass the courses, “NM01 Analysis technique and probationary training of semiconductor material” and “Safety Matters of Foundry”
    7. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    All qualified users are obligated to train new personnel.
    8. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
    Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
    9. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
    Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
    10. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
    The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

    七、收費標準 VII. Fee-Charging Standard


    1. 委託操作費用 (Commissioning fee )
    學術單位 (Academic institute) NT$1700 / hr
    業界 ( Corporation) NT$6000/ hr

    2. 自行操作會員收費 (independent-operation fee)
    學術單位 (Academic institute) NT$1200 / hr
    業界 ( Corporation) No service
    3. 自行操作訓練 (Training fee)
    若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
    若委託本中心代為訓練,費用為:
    If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
    學術單位 (Academic institute) NT$20000 / 10 hours (2000/hr)

    八、樣品規範 (VIII. Sample specification)


    1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,請事先與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
    Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
    2. 操作前必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:
    a. 樣品僅限單一的固體(非粉末)。
    b. 樣品大小必須在 8mm×8mm∼20mm×20mm 尺寸內,厚度 10 mm 以內。
    c. 量測範圍:500~7000 1/cm (1.43 ~ 20.00um)。
    d. 注意基板材質,吸收太強或有特殊吸收峰會影響量測數據。
    e. 請事先與工程師連絡,說明所需之量測。
    The material, fabrication, and solvent should be specified before operation. The following restrictions will be apply to samples in order to minimize contamination.
    a. Samples should be in solid not powder.
    b. Area of samples should be within the range of 8mm×8mm∼20mm×20mm. Thickness of samples should be below 10 mm.
    c. Measuring range is 500~7000 1/cm (1.43 ~ 20.00um).
    d. Material of substrate has an influence on the results of measurements. Strong absorption peak or specific absorption peak will affect the spectrum.
    e. Please inform and discuss with the administrator before you start the experiment.
    3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行檔案傳輸。
    Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
    4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
    If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
    5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
    In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
    6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
    If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.

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    一、儀器簡介 (I. Introduction of instrument)


    儀器名稱:
    中文名稱:太陽能電池外部量子入射效率分析機台
    Instrument:Solar Cell Quantum Efficiency Measurement System

    儀器設備說明 (Description of system model and specifications):
    機型 (System model):Titan Electro-Optics,Hitachi QE-3000
    放置地點:固態電子系統大樓R 150
    Location:Solid-State Electronics Building R 150

    使用功能說明(Description of Utility and Function):
    各式太陽能電池外部量子效率(EQE)及內部量子效率(IQE)量測。
    Various solar cell external quantum efficiency (EQE) and internal quantum efficiency (IQE) measurements.

    規格 (Specifications):
    波長範圍(Wavelength range):300~2000nm
    適用樣品(Applicable sample):Si、CdTe、CIGS、GaAs
    樣品尺寸(Sample size):Max.156 x 156 mm
    光徑(beam size):3-10mm
    偵測器(Detector):Si(300~1100nm)、InGaAs (850-1700nm)


    二、設備服務須知 ( II. Guideline for usage of instrument)


    本系統服務以預約使用時段每次以一小時為一單位做計算。詳請參照『四、對外開放服務時間』。
    For our D3100, reservations are made in 1-hour increments. Please refer to “IV. Opening hours” for further details.
    本設備目前預約制度,詳細辦法請參照『五、管理及服務辦法』。
    Usage of the instrument is on reservation basis. Please refer to “V. User regulations” for further details.
    使用者訓練與上機操作請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』。
    For details about user training and operation, please refer to “VI. Operation training and evaluation”.
    取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
    Reservation Cancellation must be made at least two days in advance. Those failing to do so will not be eligible to make reservations for one month.
    一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
    Those who fail to show up for their reservations three times in one year will be deemed ineligible for reservations for six months.
    本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『八、樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
    To ensure proper operation of the instrument as well we qualified users’ rights, and to avoid waste of all available resources, restrictions on samples that may do damage to the instrument will apply. Users are advised to observe the regulations outlined in “VIII. Sample requirements”.

    三、儀器相關人員 (III. Instrument Personnel)


    儀器負責教授
    Instruction supervisor

    孫建文 教授
    Prof. Kien-Wen Sun

    03-5712121 #55631

    儀器管理者
    Instrument administrator

    賴良一先生
    Rex Lai

    03-5712121 #55637
    rexlai@cc.nctu.edu.tw


    四、對外開放服務時間(IV. Opening hours)


    週一~週日 00:00~晚上24:00
    00:00~24:00 from Monday to Sunday.

    五、管理及服務辦法(V. User regulations)


    1. 本機台為B級機台,提供委託及自行操作服務。
    The system is classified as a Grade B instrument, and operation can be carried out by the individual making the reservation or by qualified personnel.
    2. 申請委託操作者須事先與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,並由管理員估價計算費用後,經指導教授或主管同意後,方可提出使用申請。
    Those applying for commissioned operation should discuss and evaluate the experiment with the instrument administrator in advance, ensuring that the sample and fabrication process are suited for the instrument. The application can be filed after the cost is estimated by the administrator and approved by either the advisor or the supervisor.
    3. 委託操作使用者採序號預約,確認可提出使用申請者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。委託申請人需在現場共同進行實驗。
    Each case of commissioned operation is by reservation only. Applicants who have been evaluated and approved can down the “ application form” from our website, and email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. The applicants are required to contact the instrument supervisor via phone or email regarding the available time slot, sample preparation and fabrication. The applicants have to be present for the duration of the experiment.
    4. 申請自行操作者,可於與儀器管理員連絡並進行實驗討論評估,確認樣品及製程可使用本機台,經指導教授或主管同意後,始可申請加入本中心會員並提出自行操作訓練考核申請,其訓練考核程序請參照『六、自行操作訓練與考核辦法』,通過考核後始可自行操作。
    The applicant who is willing to operate the instrument by himself should discuss the details of his experiment, such as sample confirmation and fabrication, with the administrator first. After obtaining permission from the supervisor, the applicant can apply for membership of the center as well as evaluation of operation and training. For details about evaluation procedures, please refer to “VI. Guideline for independent operation and evaluation.” Those who pass the evaluation can operate the instrument independently.
    5. 自行操作者採取網路預約。通過機台考核之合格使用者始可取得網路預約之帳號。加入會員及申請訓練者請先至本中心網站下載『實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢訓練考核相關事宜。
    The qualified users can make reservations online. After passing the practical evaluation, users can obtain an account number for online reservation purpose. Those who wish to apply for membership and training, please download the “ application form” from our website. Email the completed form to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. Users should contact the instrument supervisor via phone or email for details regarding training and evaluation.
    6. 使用者須遵守實驗室所有相關規定。違反實驗室規定者依本中心實驗室管理規則辦理。
    Users must abide by the regulations of the laboratory. Those in violation of lab regulations are subject to punishments accordingly.
    7.。如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
    Please feel free to contact the administrator for any further inquiries.
    8. 機台使用費用規定請參照『七、收費標準』。
    Please refer to “VII. Fee-Charging Standard” for details of fees for using the instrument.

    六、自行操作訓練與考核辦法(VI. Guideline for independent operation and evaluation.)


    1. 本系統自行操作各單位(以指導教授、計畫主持人或公司行號為單位)開放三個名額,每位申請者須同時提出其研究使用計畫及材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否可接受其申請。
    The applicants who want to operate by themselves need to submit the details of their experiment and sample material for application of membership and the training program. The account of membership is registered under your supervisor, PI, or company name.
    2. 申請者上網下載並填寫『實驗申請單』詳填使用者與試片資訊後,e-mail至cnst-adm@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
    Applicants should download the “ application form” online and email the completed form, including details about the user and lamella, to cnst-adm@cc.nctu.edu.tw. We will respond to your application as soon as possible.
    3.考核通過後,可於週一至週五8:00~17:00自行操作。全程自行操作累積使用時數達20小時以上,並未有任何違反機台規定與任何損及行為者,可申請全開放時段之使用權限。
    Once the users pass the evaluation, they can operate the instrument independently from Monday to Friday between 8:00 AM and 5:00 PM. Those accumulating 20 hours of independent operation without violating any regulation or causing any damage may apply for unrestricted access permission.
    4. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    All qualified users are obligated to train new personnel.
    5. 各實驗室可自行訓練新訓人員。
    Training of new personnel can be conducted voluntarily by members of each lab.
    6. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
    Qualified users without any record of operation for 6 months will be disqualified from independent operation. They will be required to repeat the process of application, training, and evaluation again, should they need to operate independently.
    7. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
    The charge for the operation will be deducted from the pre-paid account of your membership upon completion of experiment.

    七、收費標準 (VII. Fee-Charging Standard)


    1. 委託操作費用(Commissioning fee )
    學術單位(Academic institute) 1000元/hr
    業界( Corporation) 2000元/hr
    2. 自行操作會員收費(independent-operation fee)
    學術單位(Academic institute) 8500/40 hr
    業界( Corporation) 17000/40 hr.
    3. 自行操作訓練 (Training fee)
    若由各單位合格操作者自行訓練,其訓練使用時數由各單位之會員時數扣除費用
    若委託本中心代為訓練,費用為:
    If training is conducted by a qualified operator, the charge for the training period will be deducted from the membership account of the institute. If the training is conducted by the administrator, the charge is as follows:
    學術單位(Academic institute 1000/hr)
    業界( Corporation 2000/hr)

    八、樣品規範(VIII. Sample specification)


    1. 使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
    Use of instruments should be prioritized for researchers requiring the instruments. To avoid any possible waste of resources, users must discuss with the administrator before deciding whether observation is necessary. Usage of the machine should be optimized.
    3. 存取資料請自備空白光碟片。為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸。
    Users are advised to prepare CDs for data storage. The use of flash drive is forbidden to prevent any possibility of virus infection.
    4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
    If the qualified user is found loading any harmful sample with above-mentioned description, the user will be disqualified from operating the instrument.
    5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格。
    In cases of commissioned operation, the administrator will verify the description of the sample with you. If sample description is found to be false, you will be disqualified from using the instrument.
    6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。
    If violation of regulation results in contamination or damage of the instrument, the institute and the advisor will bear the cost of compensation, which will be estimated by the manufacturer. We may disqualify the user from using the instrument.
     

     

    一、儀器名稱:


    中文名稱:能量色散光譜儀
    英文名稱:EDS

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:


    廠牌及型號: BRUKER QUANTAX-400
    儀器購置年份:2012年

    三、放置地點:


    放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,R101A 實驗室,JSM-6500 SEM 加掛.

    四、 服務項目:


    1. EDS 功能,委託操作,自行操作.
    2. Sample size小於50mm X 125mm X 100mm.


    五、設備 重要規格:


    1. Detecter SLEW/10*10mm.
    2. Takeoff angle 35°.
    3. Endcap diametr 16.3mm.
    4.Energy resolution Manganese <123eV FWHM at Mnkα.
    5. Energy resolution Fluorine 53 eV FWHM at FKα.
    6. Energy resolution Carbon 45 eV FWHM at CKα.
    7.Peakshift(5-300 kcps).

    六、設施服務須知:


    1. 本設備經考核可開放自行操作。
    2. 每週有 6 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由產業界優先
    預約使用。
    3. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預
    約使用。
    4. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
    6. 儀器相關人員:

    儀器負責教授

    李建平 教授

    (03) 5712121 ext 55629
    (03) 5712121 ext 31589
    cplee@cc.nctu.edu.tw

    儀器管理者

    鄭慧雯 博士

    (03) 5712121 ext 55632
    (03) 5712121 ext 55641
    hwcheng2011@gmail.com


    七、試行對外開放服務時間:


    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    8:00 ~ 12:00

    特殊服務或產業界

    學術計畫

    學術計畫

    學術計畫

    特殊服務或產業界

    13:00 ~ 17:00

    特殊服務或產業界

    學術計畫

    學術計畫

    學術計畫

    特殊服務或產業界

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

    八、服務申請流程:


    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『JSM-6500F SEM WITH EDS 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』
    2. EDS自行操作訓練之申請方法
    2-1 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-2 一般申請人需自行下載『 JSM-6500F SEM WITH EDS 一般使用者儀器使用、
    訓練、委託操作申請單暨經費轉帳核准單、』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-3 累積訓練時數達 15 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-4 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,
    上班時間之自行操作資格。
    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
    3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的
    填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
    3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,
    唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載
    『 JSM-6500F SEM WITH EDS 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請單暨經費轉帳核准單 』,
    填妥後以 E-mail 提出申請。
    4-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
    4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    1500(元/小時)

    2500 ( 元/小時)

    自行操作

    500( 元 / 小時 )

    不開放

    操作訓練

    扣當期會費時數15小時

    不開放

    年會員八十小時

    500/小時

    不開放

     

     

    一、儀器名稱:


    中文名稱:載子霍爾系數量測系統
    英文名稱: Hall Effect Measurement System

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:


    廠牌及型號: Swin HALL8800
    儀器購置年份:2012年

    三、放置地點:


    放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室

    四、 服務項目:


    可量測在室溫300K下室片(sample)之片電阻、電阻率、載子濃度、載子遷移率…等其它霍爾效應之物理量。

    五、設備 重要規格:







    Hardware installation


    1. HALL8800 主系統

    2. 試片載具平台


    3. 磁場系統


    4.電腦連結系統



    五.其他相關規格

    a. 溫度範圍: 室溫300 K
    b. 磁場範圍: 6370 Tesla
    c. 量測範圍:直流電流限制: 10-7A至0.1A,直流電壓最大限制: 100V,總功率小於2W。
    d. 量測物理性質:試片薄膜(film)之片電阻、電阻率、載子濃度、載子遷移率…等其他霍爾效應之物理量。

    六、設施服務須知:


    1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
    2. 本系統每週開放服務 5 天(週一至週五),一般使用者其使用時間為
    AM 08:00~PM 17:00;24 hr權限操作使用者可於夜間及假日時間使用。
    3. 本系統服務以1小時為 1 單元 ,每人每天最多預約 4 個單元。
    4. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格2週。
    5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 3個月。
    6. 儀器相關人員:

    儀器負責教授

    李建平 教授

    (03) 5712121 ext 54159
    (03) 5712121 ext 54249
    cplee@cc.nctu.edu.tw

    儀器負責研究生

    黃品睿 博士生

    (03)5712121 ext.59341
    jui257@hotmail.com

    自行操作訓練與考核辦法 i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達 3次以上者方可向儀器負責人申請考核。
    考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者,
    自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達20 hr以上者,方可向儀器負責人申請。
    考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。
    ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    iii. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
    iv. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
    其他注意事項: i. 試片以破片為主,尺寸小於(厚)0.2 cm × (長)1.5 cm × (寬) 1.5 cm,
    最好以(厚)0.2 cm × (長)1.0 cm ×(寬) 1.0 cm 尺寸較佳。
    ii. 試片基板種類: 石英、玻璃、氧化物…等不導電基板為主。
    iii. 作霍爾量測前可先檢查金屬與試片之歐姆接觸是否良好。
    iv. 液體樣品暫不接受量測。
    v. 目前無低溫量測系統。

    七、對外開放服務時間與預約時段:


    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    夜間及非上班日

    8:00 ~ 17:00

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    24h使用者操作or例行維護

    八、服務申請流程:


    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 霍爾量測會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為2人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯
    『霍爾量測會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究
    生 務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『霍爾量測一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』, 完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者,須於一週內繳交『固態電子系統大樓與國家奈米元件
    實驗室門禁磁卡申請表』完成門禁磁卡申請,方可進行實驗預約。
    2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人
    再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 由霍爾量測使用記錄本預約。
    3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者
    應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,
    違者停止使用資格 3 個月。
    3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬
    實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位
    往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載『霍爾量測一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』
    ,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽
    委託操作事宜。
    4-2 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費標準:

    儀器名稱 舊制使用費 新制使用費
    載子霍爾系數量測系統 學術單位之自行操作費用: 250元/時
    學術單位之操作服務費用: 300元/片
    非學術單位之操作服務費用: 無開放
    訓練費用300元/次
    考核費用300元/次
    學術單位之自行操作費用: 500元/時
    學術單位之操作服務費用: 350元/片
    非學術單位之操作服務費用: 450元/片
    訓練費用350元/次
    考核費用350元/次