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交通大學奈米科技中心
Center for Nano Science & Technology, National Chiao Tung University

親愛的使用者:

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服務各型計畫設備
原子力顯微鏡 [AFM - MultiMode]
原子力顯微鏡 [AFM - D3100]
原子力顯微鏡 [AFM - Enviroscope]
晶粒共晶鍵合黏著機 [Eutectic Die Bonder]
光學監控鍍膜系統 [Coating System with Optical In-situ Monitor]
高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀 [ High Resolution Confocal Raman Microscope]
光罩對準曝光機 [DUV Mask Aligner]
電子束微影系統 [E-beam Lithography System (ELS - 7500EX)]
單電子槍蒸鍍機 [E-gun Evaporator]
場發射高分辨穿透式電子顯微鏡 [Field Emission HRTEM]
場發射電子顯微鏡 [FESEM]
傅氏紅外線光譜儀 [FTIR system (Bruker IFS66V/S)]
載子霍爾系數量測系統 [Hall Effect Measurement System (Swin HALL8800)]
三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
[ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication]
積分球光源量測系統 [Integrating Sphere Light Source Measurement System]
低溫高分辨穿透式電子顯微鏡[Cryo-HRTEM ]
高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀 [Lab RAM HR Raman Microscope ]
分子束磊晶系統 [Veeco Gen II (MBE)]
電漿輔助化學氣相沉積系統 [PECVD]
離子剪薄機[PRECISION ION POLISHING SYSTEM]
電子顯微鏡 [JSM-6500F SEM]
太陽能電池外部量子入射效率分析機台 [Quantum Efficiency System (QE-3000)]
紫外/可見/紅外光 分光光譜儀 [UV/VIS/NIR Spectrophotometer]
多功能光譜量測系統 [Spectrum Measurement System]
真空蒸鍍機[ Evaporator ]
熱蒸鍍機[ Thermal Evaporator ]
高解析度 X 光繞射儀[ High Resolution X-ray Diffractometer]
手套箱 [Glove Box with Gas Purification System]
冷凍超薄切片機[ Ultramicrotome ]
合作研究設備
高真空變溫原子力及電子穿遂效應顯微鏡 [UHV STM-AFM]
低溫強磁場系統 [Low Temperature / High Magnetic Field System]
銻化物分子束磊晶系統 [Sb Based Molecular Beam Epitaxy]
能量色散光譜儀 [EDS (BRUKER QUANTAX-400)]
 
 

 

一、儀器名稱:
儀器中文名稱:熱蒸鍍機
儀器英文名稱:Thermal Evaporator

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:俊尚, TE-400

儀器購置年份:民國 102 年 5 月

三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) 1 樓 103C 室

四、 服務項目:
•  金屬蒸鍍:(Au, Ni, Al, Ge, Ti, Ag)


五、儀器性能說明:
1. 蒸鍍種類及樣品大小:
(1) Allowable Evaporation Source:Au, Ni, Al, Ge, Ti, Ag,
(2) For 1 sheet of 4 inch wafer or smaller than 4 inch
(3) 6 electrodes for evaporation source

2. 抽氣效率(Pumping Performance):
(1) Ultimate Pressure: 8.0 x 10-7 Torr(After 24Hrs Pumping)
(2) Pumping rate: 20min to 5 x 10-6 Torr

3. 鍍膜均勻性(Deposition Performance):
(1) Film thickness uniformity on the substrate: < 5%
(2) Film thickness uniformity within the batch: < 5%

六、設施服務須知:
1. 本中心所屬 TE-400 經考核均可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務 7 天。
3. 本系統服務以 2 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 56 單元。
4. 取消預約須於 1 天前告知,違者直接扣款不另通知。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

孫建文 教授

(03) 5712121 ext 55631

儀器管理人員

林安樺小姐

(03) 5712121 ext 55646 or 55688

whoareyou242001@gmail.com



七、對外開放服務時間與預約時段:

每週七天,每天8:00~24:00。
附註:若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約。

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

夜間OR非上班日

8:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

24h使用者操作 or例行維護


八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 TE-400會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2 . 自行操作訓練之申請方法
2-1 需先加入會員方可進行自行操作訓練,無實驗室申請自行操作人數限制。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 TE-400 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 TE-400 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事 宜。
2-4 累積訓練次數達 4次 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核當天需攜帶門禁磁卡申請單進行考核及開通磁卡事宜。考核後累積操作次數達5次以上,方可開通24小時權限。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,需重新進行考核。

3. 預約自行操作之方法
3-1 由線上系統進行機台預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 TE-400一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

 九、一般收費標準:

 

會費

項目

學術計畫

產業界

費用

委託操作

1200元/小時

2000元/小時

12000/20h

自行操作

600元/小時

不開放

操作訓練

600元/小時

不開放


Au 時價(1.5公克/KA)
Ti 600元/KA
Ni 400元/KA
Ge 600元/KA
Al 400元/KA
Ag 400元/KA
鎢舟 100元/次

 

Top
 


 

一、儀器名稱:
儀器中文名稱:晶粒共晶鍵合黏著機
儀器英文名稱:Eutectic Die Bonder

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:Cammax Precima/ EDB80P

儀器購置年份:2012年

三、放置地點: 交通大學光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室

四、 服務項目:
•  適用於LED/LD 及各種半導體元件共晶鍵合之用途。


五、設備重要規格:
1. 整體機台:平移範圍~ 12 cm,移動手臂對位= 8:1,晶粒放置精度< 10 μm
2. 加熱平台移動組件:X/Y平移 ~ 6 mm,馬達驅動齒輪旋轉 (微調比例 = 200:1)
3. 黏著頭:馬達控制旋轉角度360°
4. 最佳操作溫度:< 400℃ (Au-Sn eutectic temperature 280℃)
5. 接合壓力:10-250 gram
6. 可放置晶粒托盤(Waffle/Gel-Pak)

六、設施服務須知:
1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務5天(週一至週五),一般使用者其使用時間為AM 08:00~PM 17:00;
24 hr權限操作使用者可於夜間及假日時間使用。
3. 取消預約須於1天前告知,違者停止預約資格2週。
4. 一年內累積爽約3次,停止預約資格 3個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

林國瑞 教授

(03) 5712121 ext 31289
graylin@mail.nctu.edu.tw

儀器管理人員

劉海平博士

(03) 5712121 ext 55632

haipingliu@nctu.edu.tw


自行操作訓練與考核辦法
i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達 3次以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者, 自行操作新訓人員需累積量測訓練時數達20 hr以上者,方可向儀器負責人申請。考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。
ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
iii. 考核通過者若連續6個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。


七、對外開放服務時間與預約時段:

每週一至五,每天8:00~17:00。

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

夜間OR非上班日

8:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

24h使用者操作 or例行維護


八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載「晶粒黏著機會員使用申請表暨經費轉帳核准單」
2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為2人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯「晶粒黏著機會員使用申請表暨經費轉帳核准單」中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載「晶粒黏著機一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單」,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 3小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者,須於一週內繳交「固態電子系統大樓與國家奈米元件實驗室門禁磁卡申請表」完成門禁磁卡申請,方可進行實驗預約。
2-6 考核通過者若連續 6個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
3. 預約自行操作之方法
3-1 由晶粒黏著機使用記錄本預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載「晶粒黏著機一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單」,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 3 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

 九、一般收費標準:

 

項目

學術計畫

業界

費用

自行操作

400元/小時

800元/小時

委託操作

600元/小時

1000元/小時


 

Top
 


 

一、儀器名稱:
儀器中文名稱:積分球光源量測系統
儀器英文名稱:Integrating Sphere Light Source Measurement System
二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:五鈴光學/ISM-360

儀器購置年份:2011
三、放置地點:交通大學光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室
四、 服務項目:
•  LED光源特性量測 (光譜、色座標、色溫、主波長、峰波長、CRI、 流明值、飽和度、光強度等)

五、設備重要規格:

• Ocean Optics 光譜儀 USB2000+ Slit-25 VIS-NIR (量測範圍:380 nm ~ 1020 nm);

• Ocean Optics 光譜儀 NIR Quest 512 (量測範圍:900 nm ~ 1650 nm);

• Keithley 2400 Digital Source Meter;

• Labsphere Integrating Sphere LMS-100 (10 inch diameter)

• Labsphere 5 W標準燈

操作介面:



六、設施服務須知:
1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務 5 天(週一至週五),一般使用者其使用時間為AM 08:00~PM 17:00;24 hr權限操作使用者可於夜間及假日時間使用。
3. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格2週。
4. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 3個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

林國瑞 教授

(03) 5712121 ext 31289
graylin@mail.nctu.edu.tw

儀器管理人員

劉海平 博士

(03) 5712121 ext 55632

haipingliu@nctu.edu.tw


自行操作訓練與考核辦法
i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達 3次以上者方可向儀器負責人申請考核。
考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者, 自行操作新訓人員需累積量測訓練時數達20 hr以上者,方可向儀器負責人申請。考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。 ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
iii. 考核通過者若連續 6個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。


七、對外開放服務時間與預約時段:

每週一至五,每天8:00~17:00。

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

夜間OR非上班日

8:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

24h使用者操作 or例行維護


八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載「積分球光源量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單」
2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為2人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯「積分球光源量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單」中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載「積分球光源量測系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單」,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 3小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者,須於一週內繳交「固態電子系統大樓與國家奈米元件實驗室門禁磁卡申請表」完成門禁磁卡申請,方可進行實驗預約。
2-6 考核通過者若連續 6個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
3. 預約自行操作之方法
3-1 由積分球光源量測系統使用記錄本預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載「積分球光源量測系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單」,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 3天將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

 九、一般收費標準:

 

項目

學術計畫

業界

費用

自行操作

400元/小時

960元/小時

委託操作

800元/小時

1200元/小時


 

Top
 


 

一、儀器名稱:
儀器中文名稱:多功能光譜量測系統
儀器英文名稱:Spectrum Measurement System
二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:HORIBA Jobin Yvon (昇航代理)

儀器購置年份:民國 101年
三、放置地點: 光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室
四、 服務項目:
•  光激發螢光光譜 Photoluminescence (PL)

•  電激發螢光光譜 Electricluminescence (EL)

•  雷射二極體測試 Laser Diode Test System
    (以上量測範圍:0.3 ~ 5.5μm)

•  時間解析光譜 Time-resolved PL (TCSPC)
    (以上量測範圍:0.3 ~ 0.85μm)

•  光激發雷射樣品測試 Optically-pumped Laser Test
    (以上量測範圍:1.1 ~ 5.5μm)

此量測系統配置循環液氦冷卻系統(15~350K)以及液氮電性量測系統(80~350K), 可供變溫實驗量測

五、設備重要規格:

•  光譜儀:iHR320 (HORIBA Jobin Yvon) Grating:光譜儀1 [500nm, 900nm (中心波長)],光譜儀2 [2μm, 3μm, 4μm]

•  偵測器:固態偵測器 Si (0.3~1.0μm), InGaAs (0.8~1.6μm),InGaAsSb (1.3~2.4μm), InSb (1.0~5.5μm)光電倍增管 Si-PMT (0.3~0.85μm)

•  雷射源:CW-DL 405nm 100mW (Max)Pulsed-DL 405nm 20mW (Max), 50~600ps (PW),2.5~40MHz (Rep.)Fiber Laser 1064nm 10kW(Peak Max), 10~200ns (PW),1~500k Hz (Rep.)

•  電流源:Keithley 2520 10V (Max), 1A (Max), 500ns~DC (PW)

六、設施服務須知:
1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務5天(週一至週五),一般使用者其使用時間為 AM 08:00~PM 17:00;24 hr權限操作使用者可於夜間及假日時間使用。
3. 本系統服務以2小時為1單元,每人每天最多預約4個單元, 如需使用冷卻系統者,每次最少預約2個單位。
4. 如有特殊實驗需求需要連續2天以上的量測時間,需於5天前先告知儀器管 理員,取得管理員同意後方能預約數天量測時間。
5. 取消預約須於1天前告知,違者停止預約資格2週。
6. 一年內累積爽約3次,停止預約資格3個月。
7. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 54159
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

林建宏 先生

(03) 5712121 ext 54248

kb0716@gmail.com

儀器負責研究生

林建宏 先生

(03) 5712121 ext 54248

kb0716@gmail.com


七、自行操作訓練與考核辦法
i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達3次以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者,自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達40 hr以上者,方可向儀器負責人申請。考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。
ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
iii. 考核通過者若連續6個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
iv. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。

其他注意事項:
i. 試片以破片為主,尺寸小於 (長)1.5cm × (寬) 1.5cm。
ii. 目前暫不開放液體類樣品(溶液)使用。
iii. 如需使用液態氮冷卻系統,可事先將液態氮準備妥當。(固態電子大樓側門可取得液態氮)
iv. 如因實驗需求而自備激發光源者,可事先聯絡儀器管理員,以便幫忙架設光路。


八、對外開放服務時間與預約時段:

每週一至五,每天8:00~17:00。

附註:若內部維護或技術發展與訓練(含考核)則不接授預約。

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

8:00-10:00

中心時段

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

10:00-12:00

中心時段

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

12:00-13:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

中心時段

13:00-15:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

中心時段

15:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

中心時段

夜間及
非上班日

24h使用者操作
or例行維護

24h使用者操作
or例行維護

24h使用者操作
or例行維護

24h使用者操作
or例行維護

24h使用者操作
or例行維護


九、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『多功能光譜量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
2
. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯『多功能光譜量測系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『多功能光譜量測系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達3次 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排,會員直接上網預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
4-2 申請人於預約時段前3 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

 十、一般收費標準:

 

項目

學術計畫

產業界

費用

委託操作

800 (元/時), 600 (PL Only)

1200 (元/時), 1000 (PL)

自行操作

400 (元/時), 250 (PL)

不開放

操作訓練

800 (元/時), 600 (PL)

不開放


 

項目

學術計畫

產業界

會員
自行操作

50小時

15,000 元, 8,000 元 (PL)

不開放

120小時

30,000 元, 16,000 元 (PL)

不開放


 

Top
 


 

一、儀器名稱:
儀器中文名稱:單電子槍蒸鍍機
儀器英文名稱:E-gun Evaporator
二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號: ULVAC, EBX
-8C
儀器購置年份:民國   年
三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) 2 樓
四、 服務項目:
•  元件電極金屬蒸鍍:(Au, Ni, Al, Ge, Ti, Pt)
五、儀器性能說明:
1. 靶材與晶圓乘載量:
(1) Allowable Evaporation Source:Au, Ni, Al, Ge, Ti, Pt, Pd
(2) For 8 sheets of 4 inch wafers or smaller than 4 inch
(3) 4 hearths (2.9cc x 4) for evaporation source (crucible of 2cc)
2. 抽氣效率(Pumping Performance):
(1) Ultimate Pressure: < 5.0 x 10-7 Torr
(2) Pump down time: 3.0 x 10-7 Torr
3. 鍍膜均勻性(Deposition Performance):
(1) Film thickness uniformity on the substrate: < 5%
(2) Film thickness uniformity within the batch: < 5%
六、設施服務須知:
1. 本中心所屬 E-gun 經考核均可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務 7 天。
3. 本系統服務以 4 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。。
4. 每人每週最多預約 3 個單元。
5. 優先預約時段至使用前 3 天。
6. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止使用資格 1 個月。
7. 一年內累積爽約 3 次,停止使用資格 6 個月。
8. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 54159
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

周柏存 先生

(03)5712121 ext.55630

choubotsun@gmail.com


七、對外開放服務時間與預約時段:

每週七天,每天8:00~24:00。

附註:若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約。
八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 E-gun 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
2
. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 1 人,惟特殊需求可申請開放 2 人使用。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 E-gun 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 E-gun 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事
宜。
2-4 累積訓練時數達 5次 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 由E-gun使用記錄本預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合
理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 E-gun 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單
』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

 九、一般收費標準:

 

項目

學術計畫

產業界

費用

委託操作

4000(元/次)

5000(元/次)

自行操作

1000 (元/次)

不開放

操作訓練

1000(元/次)

不開放


Au 時價(1.5公克/KA)
Pt 時價(1.5公克/KA)
Ti 600元/KA
Ni 400元/KA
Ge 600元/KA
Al 400元/KA
Pd 1000元/KA

 

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一、儀器簡介

● 儀器中文名稱:場發射穿透式電子顯微鏡
● 儀器英文名稱:Field Emission Gun Transmission Electron Microscope
● 儀器英文簡稱:FEG-TEM

儀器設備說明:

  • 儀器購置年月:2004年 11 月
  • 儀器經費來源:國科會
  • 廠牌及型號:日本JEOL, JEM-2100F
  • 放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室
  • 重要規格:
    • 加速電壓:160-200KeV 
    • 放大倍率:x2000-1,500,000
    • 解像力:Point image:0.23 nm;Lattice image:0.14 nm 
    • 雙傾斜基座:X軸±30°;Y軸±30°。 
  • 主要附件:
    • Link ISIS 300 Energy Dispersive X-ray Analyzer(EDS) (能量分佈分析)
    • Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)
    • Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) - Gatan Imaging Filter (GIF) system
  • 儀器性能:
    • 材料試片表面組構(morphology)、斷面、微細組織、晶體結構、缺陷觀察及元素成份分析。
 


二、設備服務須知:

  • 本系統以學術研究為主,服務為輔。
  • STEM與GIF功能僅開放學術合作與委託服務。
  • 本系統服務以3小時為一單元 ,總計每週開放服務十單元。每週有四單元國家型計畫優先預約使用,有三單元為一般國科會計畫優先預約使用,另三單元由產業界優先預約使用或做其他特殊服務,詳請參照『五、對外開放服務時間』。
  • 若委託服務時段沒有預約服務,則開放自行操作。
  • 本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、JEOL-2100F FEG-TEM相關辦法
  • 本設備委託服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、委託服務辦法』。
  • 自行操作採取時段預約,使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。
  • 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
  • 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
  • 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
本中心FEG-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。
 


三、儀器相關人員

儀器負責教授

李建平 教授

03-5712121 #31589

03-5712121 #31871

儀器操作技術員

鍾怡娟 小姐

03-5712121 #55636

ichuan@cc.nctu.edu.tw

 


四、
JEOL-2100F FEG-TEM相關辦法

  • 本設備目前試用儲值卡制度。
  • 欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後請Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
  • 申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』於實驗完畢後,依據使用時間扣取費用。
 


五、試行對外開放服務時間

上午 09:00-12:00 / 下午 14:00-17:00

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

14:00-17:00

國家型計畫

特殊服務/產業界委託服務

特殊服務/產業界委託服務

一般國科會

特殊服務/產業界委託服務

 


六、委託服務辦法

1. 本委託服務採取序號預約。使用學生請先下載『JEOL-2100F FEG-TEM實驗申請單』,詳填資訊後,e-mail至ichuan@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

2. 儀器操作技術員得視需要要求申請人在現場共同進行實驗。

3. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。

4. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。

 


七、自行操作訓練與考核辦法

1. 本系統自行操作僅開放予博士班學生,該生必須擁有本中心JEOL-2010 Cryo-TEM 操作資格並使用達30小時,同時提出研究使用計畫材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否接受新訓練申請案,其詳細辦法如下。(每位指導教授先以一名博士班學生為原則進行訓練)

2. 博士班學生需上網下載並填寫『JEOL-2100F FEG-TEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。 使用者請於申請核可後,持已核准之使用申請單以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

3. 新訓人員累積訓練時數達 30 小時以上者方可向儀器負責人申請考核。 考核通過者為可於開放時間內進行自行操作。

4. 考核通過者有訓練新訓人員之義務。

5. 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,則取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。

6. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。

 

八、收費標準

 

委託服務

自行操作

操作訓練

JEOL-2100F FETEM

學術界 NT$1750/小時
業界 NT$3000/小時
(需使用Cryo-transfer Holder 者,需加收NT$1500)

NT$750/小時

按照訓練時數扣費

備註1.本中心FEG-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。

2. 本收費標準會視實際開放情況略作調整。

 

九、送測樣品規範

1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。若只需普通簡單分析之樣品,建議至本中心Cryo-TEM(JEM-2010)使用,以充分發揮本儀器之功能。

2. 操作前必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

(1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況。
(2).低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應,請勿預約本機台。
(3).在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。
(4).具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
(5).未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,本單位有權拒絕受理。

3. 具自行操作資格人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格

4. 委託操作者上機之前,技術員會再次要求確認您送來檢測的樣品種類,請您誠實申報。如果發現申報不實,本中心將取消您的使用資格

5. 若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。


  十、2010年全年儀器性能圖

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一、儀器簡介

● 儀器中文名稱:低溫高分辨穿透式電子顯微鏡
● 儀器英文名稱:Cryo High Resolution Transmission Electron Microscope
● 儀器英文簡稱:Cryo-HRTEM
● 儀器設備說明:

  • 儀器購置年月:2004年 11 月
  • 儀器經費來源:國科會
  • 廠牌及型號:日本JEOL, JEM-2010
  • 放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室
  • 重要規格:
    • 加速電壓:80-200KV 
    • 放大倍率:x2000-1,500,000
    • 解像力:Point image:0.23 nm;Lattice image:0.14 nm 
    • 雙傾斜基座:X軸±30°;Y軸±30°。 
  • 主要附件:
    • Link ISIS 300 Energy Dispersive X-ray Analyzer(EDS) (能量分佈分析)
    • Gatan Cryo-Transfer Specimen Holder
  • 儀器性能:
    • 材料試片表面組構(morphology)、斷面、微細組織、晶體結構、缺陷觀察及元素成份分析。


二、設備服務須知:

  • 本系統以學術研究為主,服務為輔。
  • 本系統服務以3小時為一單元 ,總計每週開放服務八單元。每週有四單元國家型計畫優先預約使用,有三單元為一般國科會計畫優先預約使用,另一單元由產業界優先預約使用或做其他特殊服務,詳請參照『五、對外開放服務時間』。
  • 若委託服務時段沒有預約服務,則開放自行操作。
  • 本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、JEOL-2010 HRTEM相關辦法
  • 本設備委託服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、委託服務辦法』。
  • 自行操作採取時段預約,使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。
  • 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
  • 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
  • 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
  • 本中心Cryo-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。


三、儀器相關人員

儀器負責教授

李建平 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

鐘怡娟 小姐

(03)5712121 ext 55636
ichuan@cc.nctu.edu.tw


四、JEOL-2010 Cryo-TEM相關辦法

  • 本設備目前試用儲值卡制度。
  • 欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
  • 申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


五、試行對外開放服務時間

上午 10:00-13:00 / 下午 14:00-17:00

JEOL-2010 HRTEM

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

10:00-13:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

14:00-17:00

國家型計畫

特殊服務/產業界委託服務

特殊服務/產業界委託服務

一般國科會

特殊服務/產業界委託服務


六、委託服務辦法

1. 本委託服務採取序號預約。使用學生請先下載『JEOL-2010 TEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,e-mail至ichuan@cc.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

2. 申請人於預約時段前2天將試片送交儀器操作技術員。

3. 儀器操作技術員得視需要要求申請人在現場共同進行實驗。

4. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。

5. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


七、自行操作訓練與考核辦法

1. 本系統自行操作僅開放予博士班學生,該生必須已具傳統TEM使用資格 (已熟悉TEM基本原理與操作),並提出研究使用計畫材料特性予本中心,由本中心評估並決定是否接受新訓練申請案,其詳細辦法如下。(每位指導教授先以一名博士班學生為原則,進行訓練)

2. 博士班學生需上網下載並填寫『JEOL-2010 HRTEM實驗申請單』,詳填使用者與試片資訊後,Email至ichuan@cc.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。 使用者請於申請核可後,持已核准之使用申請單以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。

3. 新訓人員累積訓練時數達 30 小時以上者方可向儀器負責人申請考核。 考核通過者為可於開放時間內進行自行操作。

4. 考核通過者有訓練新訓人員之義務。

5. 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,則取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。

6. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』。


八、收費標準

 

委託服務

自行操作

操作訓練

JEOL-2010
HRTEM

學術界 NT$1750/小時
業界 NT$3000/小時
( 需使用Cryo-transfer Holder者,需加收NT$1500 )

NT$500/小時

按照訓練時數扣費

 備註
1.本中心Cryo-TEM配備有CCD影像擷取裝置,若需拍攝繞射影像請自備底片並於兩天前先送來預抽。

2. Cryo-transfer specimen holder因其操作過程繁雜,一單元時段僅可量測一個試片,且機台真空度維持不易,故僅開放委託服務,恕不開放自行操作。

3. 本收費標準會因實際開放情況略作調整。


九、送測樣品規範

1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,建議與機台管理者詳細討論後,再決定是否進入機台觀察,以充分發揮本儀器之功能。
2. 對於試片使用者必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類。為減少儀器不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

(1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況。
(2).低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應,請勿預約本機台。
(3).在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。
(4).具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
(5).未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,本單位有權拒絕受理。


3. 具自行操作資格人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格

4. 委託操作者上機之前,技術員會再次要求確認您送來檢測的樣品種類,請您誠實申報。如果發現申報不實,本中心將取消您的使用資格

5. 若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。


十、2010年全年儀器性能圖


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一、儀器名稱:
中文名稱:高解析度 X 光繞射儀
英文名稱: High Resolution X-ray Diffractometer

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份 :
廠牌及型號: Bede, D1
儀器購置年份:民國 92 年


三、放置地點:
光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) 1 樓,高解析度薄膜 X-Ray 分析儀實驗室


四、 服務項目:
1. Poly-crystal s, crystal and phase identification (θ-2θ 、 Ω -2θ 、 θ scan)
2. Thin film diffraction and grazing incident x-ray diffraction
3. Powde r, bulk diffraction and rocking curve
4. Small area diffraction

五、設備 重要規格:
1. 管球 1 : Brand : Ital, Model IS2773-00LFF (40KV , 50mA)
2. 管球 2 : Brand : Oxford (40KV , 2mA)
3. Sealed Tube : 全功率 2000W
4. Microsource Tube : 全功率 80W
5. 光學系統包含 : Soller sli t、 Graphite monochromato r、 Dual channel analyzer crystal 、 Double crystal (1 st and 2 nd crystal channel cut)
6. 解析度: 5 、 12 、 25 arc sec depend on the channel cut

六、設施服務須知:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 本系統每週開放服務 4.5 天,每週五下午預設為設備維護保養時間。
3. 本系統服務以 2 小時為 1 單元,總計每週開放服務 18 單元。
4. 每週有 10 單元由國家型計畫優先預約使用, 6 單元由一般學術計畫優先預約使用,另 2 單元由產業界優先預約使用。
5. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。 6. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
7. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
8. 儀器相關人員:

儀器負責教授

韋光華 教授

(03) 5712121 ext 31871 khwei@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A

N/A

儀器聯絡人

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列: 上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

高解析度 X 光繞射儀

8:00-10:00

國家型計畫

一般學術計畫

產業界

國家型計畫

國家型計畫

10:00-12:00

國家型計畫

一般學術計畫

產業界

國家型計畫

國家型計畫

13:00-15:00

一般學術計畫

一般學術計畫

國家型計畫

國家型計畫

例行維護

15:00-17:00

一般學術計畫

一般學術計畫

國家型計畫

國家型計畫

例行維護

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。 2-2 欲自行操作本機台之學生請自行參加輻射安全講習三小時(報名地 點: 環安中心吳政峰先生,分機 51514 )。
2-3 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,中心將安排內部人員或已取得自行操作資格之人員進行訓練,唯 『 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-4 一般申請人需自行下載『一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-5 累積訓練時數達 20 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-6 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,上班時間之自行操作資格。
2-7 若累積操作儀器 30 小時以上,並且使用期間無發生錯誤者,始可向儀器負責教授申請開放晚上使用權,違反規定者停權 3 個月。
2-8 獲得使用執照者必須幫忙中心訓練 1 個操作者。
2-9 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 一次樣品送件數以不超過 4 件為原則。
4-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1000 (元/小時)

2000 (元/小時)

自行操作

750 (元/小時)

不開放

操作訓練

按照訓練
時數收費

不開放

 

十、儀器性能說明:
Alignment
Perform a smaller scan around the Ka1 peak on Axis_1. Use a scan of +/- 800 arcseconds, and a stepsize of 10 arcseconds, and a quick count time of 0.2 seconds. The scan should look like that below.

Top

 











一、儀器名稱:

中文名稱:高真空變溫原子力及電子穿遂效應顯微鏡 ;
英文名稱:UHV STM-AFM

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:

廠牌及型號: Omicron AFM 25DRH;
儀器購置年限: 民國91年8月

三、放置地點:
光復校區奈米表面物理實驗室

四、服務項目:服務細節請洽林登松教授

五、設備重要規格:
•  系統超高真空度 1.0x10 -10 torr
•  核心主機為德製 Omicron VT-AFM
•  樣品最大為 6x10 mm
•  XY 最大觀測範圍為 10,000x10,000 nm 2
•  目前一般探針,非接觸式最小 XYZ 方向解析度均約 <0.3 nm

六 、設施服務須知:
1. 本系統以研究為主,服務為輔, 不開放自行操作 。
2. 申請使用者須和 儀器負責教授 接洽,以確定樣品符合需求。
3. 本系統服務以 6 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 4 單元。
4. 每人每次最多預約 4 個樣品 。
5. 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
6. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
7. 儀器相關人員:

儀器負責教授

林登松 教授

( 03) 5731994
(03) 5712121 ext 31994
dslin@cc.nctu.edu.tw

儀器負責博士後研究員

N/A

N/A

儀器操作技術員

N/A

N/A

儀器負責研究生

楊鎧銘 先生

(03) 5712121 ext 56217 u8927512.py89g@nctu.edu.tw

儀器聯絡人

楊鎧銘 先生

(03) 5712121 ext 56217 u8927512.py89g@nctu.edu.tw

 
七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
上午 08:00-12:00 / 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

高真空變溫原子力及電子穿隧效應顯微鏡

8:00-12:00

 

 

 

 

 

13:00-17:00

 

 

 

 

 


 八、服務申請流程 :
1. 自行操作訓練之申請方法
1-1 本設備 不開放自行操作 。

2. 預約自行操作之方法
2-1 本設備 不開放自行操作 。

3. 申請委託服務 之方法 3-1 實驗前須經由 儀器負責教授 確認樣品結構及實驗需求。
3-2 下載 委託服務實驗申請單 。
3-3 持實驗申請單以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段及確認實驗條件。
3-4 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交 儀器負責研究生 。

九、收費標準 :

 

規格與單位


(元/單元)


(元/單元)


(元/單元)

Daily

Weekly

備註

使用費

 

1. 每批樣品 1-4
2. 第一片基本費 4000 元 含樣品、探針固定、輸出入超高真空系統、必要之樣品處理、探針費用、高解析度影像取得、影像處理、影像解說等。第 2-4 片每片 1000 元
3. 若特殊原因使工作超過 12 小時,每小時酌收 500 元
4. 特殊探針須求須自備。

 

16 小時

 

備註:

1. 規格 : base pressure ~1x10 -10 torr, resolution <0.01 nm, sample size <8x8 mm



Top
 

一、儀器名稱:
中文名稱:原子力顯微鏡( MultiMode )
英文名稱: Atomic Force Microscope ( MultiMode )

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號: Digital Instrumen t, MultiMode
儀器購置年份:民國 91 年

三、放置地點:
光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室


四、 服務項目:
•  Tapping Mode AFM
•  Contact Mode AFM
•  Lateral Force Microscopy (LFM)
•  Phase Imaging
•  Magnetic Force Microscopy (MFM)
•  Electric Force Microscopy (EFM)
•  Surface Potential
•  Force-Distance and Force-Volume Measurements
•  Conductive Atomic Force Microscopy (C-AFM)
• Low current Scanning Tunneling Microscopy (Low Current STM)


五、設備重要規格:

•  雜訊: <0.03nm RMS in vertical (Z) dimension with acoustic vibration isolation
•  125um square XY imaging area , 5um Z range
•  Sample size : 15mm diameter , 5mm thick

六、設施服務須知:
1. 本中心所屬 AFM 包含兩套控制系統( NSIIIa , NSIV ),以及三套顯微鏡系統( MultiMode 、 D3100 及 Enviroscope ),同時僅可進行兩組量測。
2. 本中心所屬 AFM 經考核均可開放自行操作。
3. 本系統每週開放服務 5 天。
4. 本系統服務以 2 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。
5. 每週有 16 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由特殊服務或產業界優先預約使用。
6. 每人每週最多預約 4 個單元。
7. 優先預約時段至使用前 7 天為止若無人預約,則開放其它單位預約使用。
8. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
9. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
10. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 54159
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A

 

儀器聯絡人

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

原子力顯微鏡( MultiMode )

8:00-10:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

10:00-12:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

13:00-15:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

15:00-17:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:
1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 AFM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 AFM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 30 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。 4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1500 ( 元 / 試片 )

3000 元 / 試片 (三天交貨)
5000 元 / 試片 (一天交貨)

超過 3 張圖片,每張加收 200 元

自行操作

300 ( 元 / 小時 )

500 ( 元 / 小時 )

操作訓練

按照訓練
時數收費

不開放

探針

只開放會員購買,如需自購,請與儀器聯絡人連絡

 

十、儀器性能說明:
Resolution noise:
Level:0.5Å
Vertical resolution:0.1 Å
Lateral resolution: Å level

Top

 

一、儀器名稱:
中文名稱:原子力顯微鏡(D3100)
英文名稱: Atomic Force Microscope (D3100)

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號: Digital Instrumen t, Dimension 3100
儀器購置年份:民國 92 年

三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室

四、 服務項目:

•  Tapping Mode AFM
•  Contact Mode AFM
•  Lateral Force Microscopy (LFM)
•  Phase Imaging
•  Magnetic Force Microscopy (MFM)
•  Electric Force Microscopy (EFM)
•  Surface Potential
•  Conductive Atomic Force Microscopy (C-AFM)
•  Scanning Thermal Microscopy (SThM)
•  Force-Distance and Force-Volume Measurements
•  Solution Condition
•  Lithography

五、設備 重要規格:
•  雜訊: <0.05nm RMS in vertical (Z) dimension with acoustic vibration isolation
•  1% lateral accuracy (2% max.)
•  90um square XY imaging area , 4um Z range
•  Sample size : 150mm diameter , 12mm thick

六、設施服務須知:
1. 本中心所屬 AFM 包含兩套控制系統(NSIIIa , NSIV),以及三套顯微鏡系統( MultiMode 、 D3100 及 Enviroscope),同時僅可進行兩組量測。
2. 本中心所屬 AFM 經考核均可開放自行操作。
3. 本系統每週開放服務 5 天。
4. 本系統服務以 2 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。
5. 每週有 16 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由特殊服務或產業界優先預約使用。
6. 每人每週最多預約 4 個單元。
7. 優先預約時段至使用前 7 天為止若無人預約,則開放其它單位預約使用。
8. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
9. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
10. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 54159
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A

 

儀器聯絡人

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

原子力顯微鏡( D3100 )

8:00-10:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

10:00-12:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

13:00-15:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

15:00-17:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 AFM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 AFM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 30 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1500 (元/試片)

3000 元/試片 (三天交貨)
5000 元/試片 (一天交貨)

超過 3 張圖片,每張加收 200 元

自行操作

400 (元/小時)

不開放

操作訓練

按照訓練
時數收費

不開放

探針

只開放會員購買,如需自購,請與儀器聯絡人連絡

 

十、儀器性能說明:
Resolution noise:
Level:0.5Å
Vertical resolution:0.1 Å
Lateral resolution: Å level

Top

 

一、儀器名稱:

中文名稱:原子力顯微鏡(EnviroScope)
英文名稱: Atomic Force Microscope (EnviroScope)


二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:

廠牌及型號: Digital Instrumen t, EnviroScope
儀器購置年份:民國 93 年


三、放置地點:
光復校區 固態電子大樓(舊 NDL) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室


四、 服務項目:

•  Tapping Mode AFM
•  Contact Mode AFM
•  Lateral Force Microscopy (LFM)
•  Phase Imaging
•  Magnetic Force Microscopy (MFM)
•  Force-Distance and Force-Volume Measurements
•  Solution Condition
•  Vacuum Condition
•  High Temperature Condition


五、設備 重要規格:

•  雜訊: <0.05nm at ambient pressure
•  90um square XY imaging area , 5um Z range
•  Sample size : 30mm diameter , 12mm thick
•  Vacuum level : 10 -5 Torr
•  Temperature range : 185°C in ambient environment ; 300°C in vacuum ; 60°C in fluid


六、設施服務須知:

1. 本中心所屬 AFM 包含兩套控制系統(NSIIIa , NSIV),以及三套顯微鏡系統(MultiMode 、 D3100 及 Enviroscope),同時僅可進行兩組量測。
2. 本中心所屬 AFM 經考核均可開放自行操作。
3. 本系統每週開放服務 5 天。
4. 本系統服務以 2 小時為 1 單元 ,總計每週開放服務 20 單元。
5. 每週有 16 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由特殊服務或產業界優先預約使用。
6. 優先預約時段至使用前 7 天為止若無人預約,則開放其它單位預約使用。
7. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
8. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
9. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 54159
(03) 5712121 ext 54249
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A

 

儀器聯絡人

賴良一 先生

(03) 5712121 ext 55637
rexlai@cc.nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

原子力顯微鏡( EnviroScope )

8:00-10:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

10:00-12:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

13:00-15:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

15:00-17:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

學術計畫

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約


八、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 AFM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作以 1 人為限。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-3 一般申請人需自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 30 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 AFM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。


九、一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

2000 ( 元 / 試片 )

3000 元/試片 (三天交貨)
5000 元/試片 (一天交貨)

超過 3 張圖片,每張加收 200 元

自行操作

400 ( 元 / 小時 )

不開放

操作訓練

按照訓練
時數收費

不開放

探針

只開放會員購買,如需自購,請與儀器聯絡人連絡

 

十、儀器性能說明:
Resolution noise:
Level:0.5Å
Vertical resolution:0.1 Å
Lateral resolution: Å level

Top

 

一、儀器名稱:
中文名稱:電子顯微鏡
英文名稱: JSM-6500F SEM

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號: JEO L, JSM -6500F & NPGS
儀器購置年份:民國 91 年

三、放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,e-beam 實驗室


四、 服務項目:
1. SEM 功能。
2. 以破片晶片為主, Sample size小於50mm X 125mm X 125 mm


五、設備重要規格:

1. Max. Acc. Voltag e: 30keV
2. Lateral range 50mm X 50mm
3. Lateral resolution 1.5nm

六、設施服務須知:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 每週有 6 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由產業界優先預約使用。
3. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
4. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
6. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 55629
(03) 5712121 ext 31589
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

徐武達 先生

(03) 5712121 ext 55638
(03) 5712121 ext 55641
wuta@mail.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A


儀器聯絡人

徐武達 先生

(03) 5712121 ext 55638
(03) 5712121 ext 55641
wuta@mail.nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

電子顯微鏡

8:00-12:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

特殊服務或產業界

13:00-17:00

特殊服務或產業界

學術計畫

學術計畫

學術計畫

特殊服務或產業界

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 JSM-6500F SEM 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

2.SEM自行操作訓練之申請方法
2-1 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-2 一般申請人需自行下載『 JSM-6500F SEM 一般使用者儀器使用、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-3 累積訓練時數達 15 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-4 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,上班時間之自行操作資格。
3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 JSM-6500F SEM 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,填妥後以 E-mail 提出申請。
4-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

九、一般收費標準:

JSM-6500F SEM:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1000(元/小時)
1500 ( 元/小時)
自行操作
600( 元 / 小時 )
不開放

操作訓練

扣當期會費
時數15小時

不開放

年會員四十小時

375/小時

不開放

年會員八十小時

250/小時

不開放

 

十、儀器性能說明:
Line width 100nm


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一、儀器名稱
中文名稱:光罩對準曝光機
英文名稱: Mask Alignment and Exposure System

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份 :
廠牌及型號: ABM, Model 60 DUV/MUV/NearUV
儀器購置年份:民國 92 年

三、放置地點:交大固態大樓一樓R111黃光室

四、 服務項目:

1. 委託訓練: 機器介紹及訓練
2. 自行操作: 次微米線寬曝光製作

五、設備 重要規格:
1. 3'' and 4'' photomask
2. Wafer siz e: 2"
3. Near UV, mid UV, deep UV output

六、設施服務須知:

1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 本設備不開放委託操作。
3. 本系統每週開放服務 4.5 天,每週一上午預設為設備維護保養時間。
4. 本系統服務以 2 小時為 1 單元,總計每週開放服務 18 單元。
5. 每週有 4 單元由國家型計畫優先預約使用, 12 單元由一般學術計畫優先預約使用,另 2 單元由產業界優先預約使用。
6. 每人每次最多預約 2 單元
7. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
8. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
9. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
10. 儀器相關人員:

儀器負責教授

許世英 教授

(03) 5712121 ext 56164
syhsu@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

傅英哲 先生

(03) 5712121 ext 55630
dueto.ee95g@nctu.edu.tw

儀器聯絡人

傅英哲 先生

(03) 5712121 ext 55630
dueto.ee95g@nctu.edu.tw


七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

光罩對準曝光機

8:00-10:00

例行維護

一般學術計畫

產業界

一般學術計畫

國家型計畫

10:00-12:00

例行維護

一般學術計畫

產業界

一般學術計畫

國家型計畫

13:00-15:00

一般學術計畫

一般學術計畫

一般學術計畫

國家型計畫

一般學術計畫

15:00-17:00

一般學術計畫

一般學術計畫

一般學術計畫

國家型計畫

一般學術計畫

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

八、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 申請人必須修過半導體製程相關課程 。
2-3 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-4 一般申請人需自行下載『一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-5 累積訓練時數達 20 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-6 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-7 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法
4-1 本設備不開放委託服務

九、一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

自行操作

500 ( 元 / 小時 )

2000 ( 元 / 小時 )

使用 254nm 光源,加收 250 元 / 小時

委託操作

1000 ( 元 / 小時 )

3000 ( 元 / 小時 )

操作訓練

2500 ( 元 / 人 )

不開放

 

十、儀器性能說明:
1.汞燈燈源強度維持穩定 : 365nm : 2.2 W/cm2 ,  400nm : 3.1 W/cm2
2.適用破片或兩吋wafer ; 3吋或4吋光罩.
3.曝光最小線寬可至1.5μm.

DUV曝光結果:
以下分別為曝光後5μm及2μm線寬.

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  一、儀器名稱:
中文名稱: 分子束磊晶系統
英文名稱:Molecular Beam Epitaxy(MBE)
  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:Veeco Modular GEN II solid source III-V MBE
儀器購置年份:民國93年
  三、放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊NDL),R110
  四、服務項目:
1.As-based epitaxy
2.Sb-based epitaxy
  五、設備重要規格:
1. High Vacuum Growth chamber:Pressure < 5x10-10 torr
2. Source Material:Ga、Al、In、As、Sb.
3. Doping Source :Be、Si、Te
4. Max substrate Size:3 inch
5. Epitaxy Layer thickness Variation < 5%
6. The heater for growth-chamber: : 800℃
7. In-situ Residual gas analysis (RGA) and In-situ reflection high energy electron diffraction (RHEED, 15kV) : Monitor epitaxy layer growth rate and quality.
 

六、設施服務須知:
1. 本系統以研究為主,服務為輔,不開放自行操作。
2. 本系統服務每一片晶片為1單元,每週視情況開放委託操作。
3. 申請使用者須和儀器聯絡人接洽,以確定樣品符合需求。
4. 每人每次最多預約3個樣品。
5. 取消預約須於5天前告知,違者停止預約資格1個月。
6. 一年內累積爽約3次,停止預約資格6個月。

  七. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 55629
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

N/A

 

儀器負責研究生

李宗霖

(03) 5712121 ext 55630

儀器負責聯絡人

李宗霖

(03) 5712121 ext 55630
panjoan.ee95g@nctu.edu.tw


  八、服務申請流程:
1. 會員制度:本設備不適用奈米科技中心之會員制度。

2. 自行操作訓練之申請方法:本設備不開放自行操作。

3. 申請委託服務之方法:
i. 申請使用者須事先與儀器聯絡人接洽,以確定樣品符合需求。
ii. 自行下載『MBE使用申請表』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
iii. 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗

  九、一般收費標準:
學術合作
     As-based(only 2 inch wafer)
     15,000 NT/ per wafer
     Over 1 um :per 1 um 7,500 NT
     Sb-based(only 2 inch wafer)
     20,000 NT/ per wafer
     Over 1 um :per 1 um 10,000 NT
委託代工
     As-based (only 2 inch wafer)
     30,000 NT/ per wafer
     Over 1 um :per 1 um 15,000 NT
     Sb-based (only 2 inch wafer)
     40,000 NT/ per wafer
     Over 1 um :per 1 um 20,000 NT
※備註:基板費另計,將會以實際基板價格收費。
※另有特殊要求或是長期合作可與我們聯絡並討論。

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一、儀器名稱:

中文名稱:三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
英文名稱: ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: OXFORD INSTRUMENT S, Plasmalab System 100
儀器購置年份:民國 94 年

三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) R223

四、 服務項目:
1. SiN 、 GaAs 、 InP 材料之深度蝕刻

五、設備 重要規格: 1. 無

六、設施服務須知:


1. 本系統提供 SiN 、 GaAs 、 InP 三種材料破片(最大為2cmx2cm)之蝕刻,而保護層材料 (mask) 限用 P/R 、 PMMA 、 SiN 三種,嚴禁以金屬當保護 層,或 表面有金屬暴露者亦不准放入,違者停權 6 個月,再犯者永久停權。

2. 本設備經考核可開放自行操作。

3. 本系統每週開放服務 5 天,每週五下午為中心時段不開放。

4. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。

5. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。

6. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。

7. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李柏璁 教授

(03) 5712121 ext 31306

儀器負責博士後研究員

N/A

N/A

儀器操作技術員

N/A

N/A

儀器負責研究生

張家豪

(03) 5712121 ext 54240

鄭聖諺

(03) 5712121 ext 59341

儀器聯絡人

張家豪

(03) 5712121 ext54240

chiahao.ee96g@nctu.edu.tw


七、服務申請流程:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師與學校單位使用
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 ICP/RIE 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,本機台僅開放儀器負責老師指定之學生和博士班學生,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 1 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 ICP/RIE 會員使 用申請表暨經費轉帳核准單 』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 ICP/RIE 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,外校者請先上過NDL課程,取得奈米中心門禁卡後,使可接受訓練。
2-4 累積訓練時數達見習4次和實作2次以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段或自行上網預約直接安排。
3-2 來電時 儀器聯絡人將詢問確切 的實驗材料及蝕刻深度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

4. 申請委託服務之方法 ( 未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請 )
4-1 自行下載『 ICP/RIE 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及蝕刻深度等實驗需求。
4-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人,申請人委託前請與儀器聯絡人洽談細節,每星期送件上限4小時。
4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

5. 各會員若有使用機台者,每月請提供一張SEM圖,以掌握機台狀況及建檔。


八、會員收費標準:

 

項目

一般學術計畫

費用

委託操作

1000 (元/時)

自行操作

600 (元/時)

操作訓練

1000(元/時)


        一般收費標準:

 

項目

一般學術計畫

產業界

費用

委託操作

1400 (元/時)

3000 (元/時)

自行操作

1200 (元/時)

不開放

操作訓練

1400(元/時)

不開放


九、蝕刻結果:


Fig. 1 SiN 之蝕刻 ( 上層結構為 PMMA 保護層 )


Fig. 2 GaAs 之蝕刻 ( 上層有 SiN 保護層 )


Fig. 3 InP 之蝕刻 ( 保護層為 SiN ,已去除 )
 

十、儀器性能說明:
ICPRIE製程腔體每半個月定期清腔一次,並於清腔完成後,讓pump抽回大約3E-6torr的真空,並作氣流量的測試,我們一次通入一種氣體,以電腦控制流量,確認氣體造成腔體內壓力是否穩定,並與出廠驗收時的測試值比較是否有偏差,以下是基台使用氣體的壓力測試報告。




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  一、儀器名稱:
中文名稱:低溫強磁場系統
英文名稱: Low Temperature / High Magnetic Field System
儀器英文簡稱:LTHMMOS
放置地點:國家奈米元件實驗室L419
儀器設備說明:
系統規格及型號:
  (1)機型:Oxford VTI 51/30
  (2)實驗溫度範圍:1.3 K ~ 4.2 K(超過此範圍,請與管理員討論可行性)
  (3)實驗磁場範圍:0 ~ 14 T
  (4)可提供之量測:低溫高磁磁光量測(包括電阻及I-V特性)
使用功能說明:
VTI (Variable Temperature Inserts)
經由液態氦做為冷媒,可將系統溫度降至1.3 K。系統本身配有超導磁鐵,可提供0 ~ 14 Tesla 之磁場。
分析技術特性:
可提供量測儀器:
  1. PMT detector
  2. InGaAs CCD Detector
  3. Monochrometer
  4. Lock-in Amplifier SR830
  5. Dual-Channel System SourceMeter Instrument Keithley 2602
  6. 6 1/2-digit Multimeter Keithley 2000
  7. Data Acquisition, Datalogging System Keithley 2700 with 7700 DMM Card.
  8. Programmable DC Supply Yokogawa 7651
  9. Two-Channel Dynamic Signal Analyzer SR785
可提供控制軟體:
  1. LabVIEW
二、設備服務須知:
本系統以學術研究為主,服務為輔。
本系統服務以一個試片基本以四小時做計算,未滿四小時以四小時計,超過四小時按小時數計算。詳請參照『五、對外開放服務時間』
本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、低溫強磁場磁光量測相關辦法』
本設備服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、服務辦法』
使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』
取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』,請使用者務必確實遵守。
三、儀器相關人員
儀器負責教授 李建平 教授

孫建文 教授

孫允武 教授

03-5712121 #55629

03-5712121 #55631

04-22840427 #398

儀器管理者 李良箴博士 03-5712121 #55634

lcli@faculty.nctu.edu.tw

四、低溫強磁場磁光量測相關辦法
本設備目前試用儲值卡制度。
欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉帳核准單』,詳填資訊後,yijuliou@mail.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』
五、試行對外開放服務時間
週一~週五 上午8:00~晚上24:00
六、服務辦法
  1. 本機台為A級機台,需透過學術合作方式申請使用,預申請使用者請先與儀器管理員連絡並請指導教授與儀器負責教授進行實驗討論評估。
  2. 本服務採取序號預約。詳填使用者與試片資訊後,請e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
  3. 申請人按通知時間至實驗室做光路調校及試片測試。
  4. 由於低溫實驗之特殊性,申請人需在現場共同進行實驗。
  5. 由於保持低溫實驗環境需要大量資源,所以實驗操作有其固定時間,會視實驗者狀況調整時間,故只能按預約順序排序,無法確定等候時間長短。
  6. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
  7. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準
七、自行操作訓練與考核辦法
  1. 自行操作分為部份自行操作者與全程自行操作者。
  2. 所有操作者都需先通過國家奈米元件實驗室之「半導體材料分析技術與見習」之課程訓練。
  3. 部份自行操作者僅可操作量測儀器端之系統,並不包括低溫環境操作。而全程自行操作者則為已受過適當低溫操作之使用者,由本中心評估並決定是否接受訓練申請,其詳細辦法如下。(開放初期,每位指導教授先以一名博士班學生為原則)
  4. 詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將回覆您的使用申請。請於申請核可後以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
  5. 部份自行操作新訓人員累積訓練時數達 10hr以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。全程自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達 10hr以上及所有低溫操作時數達 20hr以上者,方可向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作系統
  6. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
  7. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另行申請、訓練、考核。
  8. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
八、收費標準
  1. 操作費用

  2. 儀器使用費:NT$500/day,未滿一天以一天計
    雷射使用費用則另計:
    Ti-Sapphire Laser:NT$300/hr;
    532nm Laser:NT$200/hr;
    325nm Laser:NT$300/hr;
  3. 會員儲值

  4. 會員儲值為A項儀器使用費加上B項中雷射的儲值費用,B項中a~c可同時選擇,但若選用d則不可搭配a~c之優惠價格。
    A. 儀器使用費
    □ a.單位儲值5000元(12天)。
    B. 雷射使用費
    □ a.單位儲值費用Ti-Sapphire Laser 10000元(35小時)。
    □ b.單位儲值費用532nm Laser 10000元(55小時)。
    □ c.單位儲值費用325nm Laser 10000元(35小時)。
    □ d.單位儲值費用多種 Laser 10000元(40小時)。
九、送測樣品規範
  1. 為使儀器提供給必要研究者使用,避免儀器資源的浪費,所需溫度未達4K以下之樣品,建議至其他適當設備使用,以充分發揮本儀器之功能。
  2. 使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

  3. (1).待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,(2).除需直接下至4K以下方有結果的樣品外,皆需經室溫及77K之測試,方能送件 (3).電射照射下會分解或釋出氣體之樣品,若有影響腔體造成結冰污染之虞,本單位有權拒絕受理 (4).具鐵磁性樣品或材料及樣品座會影響到磁鐵正常運作,本單位有權拒絕受理。
  4. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格
  5. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實,本中心將取消您的使用資格
  6. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。

儀器性能說明

  1. PMT detector (Response: 300-1750nm wavelength; LN2 cooling to -80)
  2. InGaAs CCD Detector (Response:800~1700nm wavelength; LN2 cooling to 180K; 1024*1 pixels CCD array; Resolution:~0.06nm wavelength in 320mm monochromator with the grating with 1200 groove/mm)
  3. Monochrometer (Focal length = 320nm; F/# = 4.1; Resolution = 0.06nm; Dispersion = 2.64 nm/mm)

 

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一、儀器名稱:
手套箱 ;
英文名稱: Glove Box with Gas Purification System ;
英文簡稱: Glove Box

二、設施服務須知 :

1. 本系統以學術研究為主,服務為輔。
2. 本設備提供給擁有博愛校區奈米中心實驗室門禁卡之研究生自行使用,但該研究生必須具備操作手套箱之經驗。

3. 研究生欲使用該手套箱前,必須事先告知 儀器負責教授 。
4. 手套箱只准固體非揮發性物質進入,使用完畢必須將箱體內外完全清理乾淨並填寫 使用紀錄表 ,違者永久取消其使用資格。
5. 本系統每週開放服務 6 天,每週五預設為設備維護保養時間。
6. 儀器相關人員:

儀器負責教授

韋光華 教授

(03) 5712121 ext 31871
khwei@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

N/A

 

儀器負責研究生

李中斌 先生

(03) 5712121 ext 55348 binbinlee.mse89g@nctu.edu.tw

儀器聯絡人

李中斌 先生

(03) 5712121 ext 55348 binbinlee.mse89g@nctu.edu.tw


三、對外開放服務時間如下表所列:
上午 08:00-12:00 / 下午 13:00-17:00

時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

手套箱

8:00-10:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

10:00-12:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

13:00-15:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

15:00-17:00

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

例行維護 *

夜間及非上班日

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

開放自行操作

  附註: * 內部維護或技術發展與訓練不接授預約

四、服務申請流程:
1. 自行操作訓練之申請方法
1-1 本設備提供給擁有博愛校區奈米中心實驗室門禁卡之研究生自行使用,但該研究生必須具備操作手套箱之經驗,本中心不另行訓練。
2. 預約自行操作之方法
2-1 研究生可隨時使用本設備,不需預約,但必須事先告知 儀器負責教授 。
2-2 凡使用本設備者,應自行詳細確實的填寫 使用紀錄表 ,違者永久取消其使用資格。
3. 申請委託服務 之方法
3-1 本設備 不開放委託服務 。

五、收費標準 :

 

規格與單位

(元/小時)

(元/小時)

(元/小時)

Daily

Weekly

備註

使用費

委託操作

不開放

不開放

不開放

 

 

 

自行操作

0

0

不開放

備註:

1. 規格 :只准固體非揮發性物質進入,使用完畢必須將箱體內外完全清理乾淨

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  一、儀器名稱:
中文名稱:真空蒸鍍機
英文名稱:Evaporator
  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: JEE420
儀器購置年限: 民國93年11月
  三、放置地點:
光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,高解析度薄膜 X-Ray 分析儀實驗室
  四、服務項目: 碳薄膜之熱蒸鍍
  五 、設施服務須知:
1. 因人力不足,目前僅開放自行操作。使用者需在其他同型機台具使用資格者方能申請考核。
2. 若需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。
3. 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
4. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
韋光華 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

鐘怡娟 小姐

(03)5712121 ext 55636
ichuan@cc.nctu.edu.tw


  六、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

Evaporator
使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

13:30-17:00

國家型計畫

儀器發展
(本中心使用時段)

特殊服務或產業界委託服務

一般國科會

例行維護

  七、服務申請流程 :
1. 自行操作申請方法
(1). 與儀器負責人員聯絡申請使用考核,並下載實驗室儀器使用、訓練申請表暨經費轉帳核准單。
(2). 填完表單請email至jennyho@mail.nctu.edu.tw,四個工作天內會收到回覆。
(3). 考核通過 與 繳完費用後,即可自行操作。
2. 委託操作申請方法
因人力不足,目前並不開放委託操作。 若急需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。
 
備註 1. 使用者於申請前,請先與儀器管理人聯絡。

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  一、儀器名稱:
中文名稱:離子剪薄機
英文名稱:PRECISION ION POLISHING SYSTEM
  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: Gatan Model 691
儀器購置年限: 民國93年11月
  三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室
  四、服務項目: 無機材料TEM試片製備
  五、設備重要規格:
Ion source
Ion Guns
Two Penning ion guns with miniature rare earth magnets
Milling Angle
+10° to -10°, Each gun independently adjustable
Ion Beam Energy
1.5keV to 6keV
Vacuum
Dry Pumping System
Molecular drag pump backed by a 2-Stage diaphragm pump
Pressure
5E-6Torr base pressure, 8E-5Torr operating pressure
Vacuum gauge
Penning type for main chamber. Solid-state for backing pump
Specimen airlock
Gatan Whisperlok , specimen exchange time <30 seconds

  六 、設施服務須知:
1. 因人力不足,目前僅開放自行操作。使用者需在其他同型機台具使用資格者方能申請考核。
2. 若需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。
3. 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
4. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
韋光華 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

鐘怡娟 小姐

(03)5712121 ext 55636
ichuan@cc.nctu.edu.tw


  七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

PIPS

使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

13:30-17:00

國家型計畫

儀器發展
(本中心使用時段)

特殊服務或產業界委託服務

一般國科會

例行維護


  八、服務申請流程 :
1. 自行操作申請方法
(1). 與儀器負責人員聯絡申請使用考核,並下載實驗室儀器使用、訓練申請表暨經費轉帳核准單。
(2). 填完表單請email至jennyho@mail.nctu.edu.tw,四個工作天內會收到回覆。
(3). 考核通過 與 繳完費用後,即可自行操作。2. 委託操作申請方法
因人力不足,目前並不開放委託操作。 若急需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。

 
備註
  • 1. 試片準備以自行研磨為原則,欲使用離子研磨機者,試片需減薄至30μm以下。
  • 2. 使用者於申請前,請先與儀器管理人聯絡。

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  一、儀器名稱:
中文名稱:冷凍超薄切片機
英文名稱:Ultramicrotome
  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
廠牌及型號: Leica EM UC6, EMFC6
儀器購置年限: 民國93年8月
  三、放置地點: 光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,多功能掃描式探針顯微鏡實驗室
  四、服務項目: 有機塊材TEM試片製備
  五、設備重要規格:
操作溫度分常溫與低溫兩種
以液態氮冷卻法進行低溫切
  六 、設施服務須知:
1. 因人力不足,目前僅開放自行操作。使用者需在其他同型機台具使用資格者方能申請考核。
2. 若需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。
3. 取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。
4. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。
5. 儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
韋光華 教授

(03)5712121 ext 31589
(03)5712121 ext 31871

儀器操作技術員

劉海平博士

(03)5712121 ext 55632
haipingliu@nctu.edu.tw


  七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:

Ultramicrotome
使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

13:30-17:00

國家型計畫

儀器發展
(本中心使用時段)

特殊服務或產業界委託服務

一般國科會

例行維護

  八、服務申請流程 :
1. 自行操作申請方法
(1). 與儀器負責人員聯絡申請使用考核,並下載實驗室儀器使用、訓練申請表暨經費轉帳核准單。
(2). 填完表單請email至jennyho@mail.nctu.edu.tw,四個工作天內會收到回覆。
(3). 考核通過 與 繳完費用後,即可自行操作。
2. 委託操作申請方法
因人力不足,目前並不開放委託操作。 若急需委託服務者,請個別與本中心儀器負責人聯絡。

 
備註
  • 1. 低溫超薄切片,本中心提供液態氮。
  • 2. 本中心不提供超薄切片試片前處理服務,如:包埋等。
  • 3. 超薄切片機自行操作時,使用者請自備鑽石刀與銅網。
  • 4. 使用者於申請前,請先與儀器管理人聯絡。

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一、儀器名稱:
儀器中文名稱:高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀
儀器英文名稱:High Resolution Confocal Raman Microscope
儀器英文簡稱:Lab RAM HR Raman Microscope

 

二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:法國HOROBA, Lab RAM HR
儀器購置年份:2008年 10 月

 

三、放置地點:
放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心實驗室

 

四、設備 重要規格:
Laser:HeNe 632 . 8 nm Wavelength - 20mW ; DPSS 488 nm, 532nm Wavelength
放大倍率:Objectives 10X NA 0.25, 50X NA 0.7, 100X NA 0.9
解像力:Focus graduation 1 μm.

 

五、主要附件:
XY軸stage
Y piezzo table for imaging with laser scanning (X direction), r ange 100 μm

 

六、儀器性能:
拉曼光譜量測, 螢光光譜, 3D光譜空間mapping

 

七、設備服務須知:

1. 會員制度
1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 Lab RAM HR Confocal Microscope 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
1-4 會費每年新台幣 20,000 (或32,000) 元,自完成申請手續日起,會員可享有一年 40 (或80) 小時免費使用時段,中心並訓練 1~2 位研究生。

2. 自行操作訓練之申請方法
2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 Lab RAM HR Confocal Microscope 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
2-3 一般申請人需自行下載『 Lab RAM HR Confocal Microscope 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
3. 預約自行操作之方法
3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
3-2 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
4. 申請委託服務之方法
4-1 自行下載『 Lab RAM HR Confocal Microscope 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。


 

八、儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授
孫建文 教授

03-5712121 #31589
03-5712121 #55631

儀器負責員

徐武達 先生

(03) 5712121 ext 55638
(03) 5712121 ext 55641
wuta@mail.nctu.edu.tw


 

九、試行對外開放服務時間:

上午 09:00-12:00 / 下午 13:30-17:00 / 晚上 18:00-24:00


JEOL-2010 HRTEM
使用時間

星期一

星期二

星期三

星期四

星期五

9:00-12:00

國家型計畫

國家型計畫

國家型計畫

一般國科會

一般國科會

13:30-17:00

國家型計畫

儀器發展
(本中心使用時段)

特殊服務或產業界委託服務

一般國科會

例行維護


 

十、收費標準:

項目

學術單位

業界

自行操作

委託代工

委託代工

LabRAM HR

500元/小時

1500元/HR

NONE

十一、儀器性能說明:

此共焦光譜量測機台能提供一般樣品高解析的光譜分析。並借由顯微鏡和搭配微步進移動平台,操作微米等級之微區分析,進而達到3D的材料鑑定與分析。在尺度拉曼、螢光光譜分析,固態表面性質掃圖,生物系統樣品等等提供量測。

量測
1.界面量測

2.空間量測 / Mapping


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一、儀器名稱:
儀器中文名稱:熱場發射掃描式電子顯微鏡  
儀器英文名稱:Thermal type Field Emission Scanning Electron Microscope

  二、儀器廠牌、型號及儀器購置年份:
廠牌及型號:JOEL 7000F
購置年份:民國94年5月
  三、放置地點:中央大學科四館奈米中心
 
四、設備重要規格:
1.加速電壓: 0.5 to 30KV 放大倍率: 10 to 500,000
2.高解析度功能: 1.2 nm (30KV), 1.5 nm(15KV) and 3.0 nm ( 1KV)
大電流分析功能: 3.0 nm (5nA ,15KV ,WD:10mm)
3.探測電流: 10-12A to 2×10-7A
4.附 SEI & BEI deector
5.試片載台: X-Y: 70 × 50 mm , WD: 3 to 41 mm , Rotation: 360° Tilting: -5 to 6°

 

五、儀器相關人員

儀器負責人
綦振瀛 教授

(03)4227151 ext 57450
ncu7450@ncu.edu.tw

儀器管理者
謝東坡、李立群
(03)4227151 ext 57452
ncu7450@ncu.edu.tw
 

六、管理辦法
相關管理及服務辦法請連結至:中央大學奈米科技研究中心

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一、儀器名稱:
中文名稱:銻化物分子束磊晶系統
英文名稱:Sb based molecular beam epitaxy

  二、預期開放時間 : 儀器尚在建購中預計交貨並建置完成後二個月開放服務
  三、儀器相關人員
儀器負責人:暫訂為" 陳書涵 "
 

四、管理辦法
相關管理及服務辦法請連結至:中央大學奈米科技研究中心

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一、儀器名稱:
中文名稱:電子束微影系統
英文名稱:E-beam Lithography System (ELS - 7500EX)

  二、放置地點:交通大學奈米科技中心,固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓
 

三、重要規格:
廠牌及型號:ELS - 7500EX
購置年份:民國97年2月
Water size:10mm*10mm ~ 6"wafer
Capable of drawing lines as fine as 10nm
E-beam positioning with 0.31 nm resolution

四、 服務項目:
1.接受委托代工.
2. E-Beam write Substrate以導電為主,
如 S i、 GaA s、 In P、 GaN 等,(請先告知)不接受磁性材料。
3. E-Beam若要對準前層圖形,請事先告知並製作 Alignment Mark.

五、儀器相關人員:

儀器負責教授

李建平 教授

(03) 5712121 ext 55629
(03) 5712121 ext 31589
cplee@cc.nctu.edu.tw

儀器操作技術員

徐武達 先生

(03) 5712121 ext 55638
(03) 5712121 ext 55641
wuta@mail.nctu.edu.tw

儀器負責研究生

N/A


儀器聯絡人

徐武達 先生

(03) 5712121 ext 55638
(03) 5712121 ext 55641
wuta@mail.nctu.edu.tw


P.S. 可與以上機台負責人聯絡討論實驗合作可能性

六、設施服務須知:
1. 本設備經考核可開放自行操作。
2. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
3. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月

七、儀器性能說明:

  • Electron beam diameter
  • 2nm(min)
  • Line width
  • 10nm(min) (50kV)
  • Stitching accuracy
  • 30nm
  • Overlay accuracy
  • 30nm
  • Scanning field
  • 2,400μm x 2,400μm(at 20kV)
    1,200μm x 1,200μm, 600μm x 600μm,
    300μm x 300μm, 150μm x 150μm, 75μm x 75μm
  • Beam positioning
  • Beam positioning by 18bit DAC
    Max 240,000 x 240,000
  • Beam positioning resolution     
  • 0.31nm
  • Pattern elements
  • Vertical, Horizontal, Oblique lines
    Rectangle
    Triangle
    Quadrilateral
    Disk
    Circle, Cirumference, Arc(option)

    八、服務申請流程:
    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 ELS-7500EX E-beam 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

    2. E-Bean自行操作訓練之申請方法
    2-1 僅開放予必須長期使用該機台之博士班學生(如計畫負責教授無博士生,請與中心洽談)自行操作,有意申請者必須事先洽詢儀器負責教授,由儀器負責教授評估當年度該機台允許使用人數是否已達上限,以決定是否接受新訓練申請案。
    2-2 訓練時段訂於每年三、七、十一月份各開放三個名額。
    2-3 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 一般申請人需自行下載『 ELS-7500EX E-beam 一般使用者儀器使用、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-5 累積訓練時數達 30 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-6 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,上班時間之自行操作資格。
    2-7 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作 。

    3.非E-Beam 相關製程請勿使用.

    4. 預約自行操作之方法
    4-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
    4-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
    4-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    5. 申請委託服務之方法
    5-1 自行下載『 ELS-7500EX E-beam 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,填妥後以 E-mail 提出申請。
    5-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
    5-3 申請人於預約時段前 2 天 將試片及 Auto CAD 檔案送交儀器聯絡人。
    5-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。


    九、一般收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    2000 ( 元 / 小時 )

    3000 ( 元/小時)

    自行操作

    2000( 元 / 小時 )

    不開放

    操作訓練

    扣當期會費
    時數10小時

    不開放

    年會員四十小時

    1000/小時

    不開放

     

      一、儀器名稱:
    儀器中文名稱:傅氏紅外線光譜儀
    儀器英文名稱:FTIR system
    儀器英文簡稱:FTIR
    放置地點:國家奈米元件實驗室L419

    二、儀器設備說明:
    型號:Bruker IFS66V/S
    系統規格Wavelength: 7500-160 cm-1
    IFS66V/S的步進掃瞄
    外接PAD 28a卡,
    中紅外線時間解析光譜(time-resolved spectra)的時間解析度:5 ns
    最精細頻譜解析度:0.25 cm-1
    開放式氣流降溫的低溫環境 (RT~4K)
    三、儀器相關人員
    儀器負責教授 李建平 教授

    孫建文 教授

    孫允武 教授

    03-5712121 #55629

    03-5712121 #55631

    04-22840427 #398

    儀器管理者 李良箴博士 03-5712121 #55634

    lcli@faculty.nctu.edu.tw

     

     

    一、儀器名稱:

    中文名稱:電漿輔助化學氣相沉積系統
    英文名稱: Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
    廠牌及型號: OXFORD INSTRUMENTS,Plasmalab80Plus
    儀器購置年份:民國 98 年

    三、放置地點:
    光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) R222

    四、 服務項目:
    SiO2、Si3N4材料之沉積

    五、設備 重要規格:
    製程平台為八吋的圓盤,製程溫度範圍為80~300℃

    六、設施服務須知:
    1. 本系統提供SiO2、Si3N4材料之沉積。
        使用上除了完整晶圓,破片也可以用,若過小的破片需用中心準備的片子作為擋片,基板材料限制為Si和三五族的基材。
    2. 可在低溫下,進行含有金屬的試片製程,但所要進去的金屬種類要先行告知,以利機台管理人進行管理。
    3. 本設備經考核可開放自行操作。
    4. 本系統每週開放服務 5 天,每週五下午為中心時段不開放。
    5. 本系統服務以一小時為一單元,請遵照規定預約,違者停權兩個星期處分。
    6. 每週有八單元由國家型計畫優先預約使用,六單元由一般學術計畫優先預約使用,另二單元由產業界優先預約使用。
    7. 每人每次最多預約兩單元 。
    8. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
    9. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    10. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。

    11. 儀器相關人員:


    儀器負責教授

    林國瑞 教授

    (03) 5131289

    儀器負責博士後研究員

    N/A

    N/A

    儀器操作技術員

    N/A

    N/A

    儀器負責研究生

    吳宏基

    (03) 5712121 ext 54221

    儀器聯絡人

    吳宏基

    (03) 5712121 ext 54221 henrywu.ee97g@nctu.edu.tw

     

    七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
    上午 08:00-12:00/ 下午 13:00-17:00


    時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    電漿輔助化學氣相沉積系統

    8:00-10:00

    例行維護

    一般學術計畫

    國家型計畫

    產業界

    國家型計畫

    10:00-12:00

    例行維護

    一般學術計畫

    國家型計畫

    產業界

    國家型計畫

    13:00-15:00

    儀器技術發展與訓練

    一般學術計畫

    國家型計畫

    一般學術計畫

    國家型計畫

    15:00-17:00

    儀器技術發展與訓練

    一般學術計畫

    國家型計畫

    一般學術計畫

    國家型計畫

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接受預約

     

    八、服務申請流程:

    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師與學校單位使用
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 PECVD 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,本機台僅開放儀器負責老師指定之學生和博士班學生,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 1 人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 PECVD 會員使 用申請表暨經費轉帳核准單 』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『 PECVD 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,外校者請先上過NDL課程,取得奈米中心門禁卡後,使可接受訓練。
    2-4 累積訓練時數達見習4次和實作2次以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
    2-6 考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排。
    3-2 來電時 儀器聯絡人將詢問確切 的實驗材料及沉積厚度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
    3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 3 個月。
    3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法 ( 未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請 )
    4-1 自行下載『 PECVD 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
    4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及沉積厚度等實驗需求。
    4-3 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人,申請人委託前請與儀器聯絡人洽談細節,每星期送件上限4小時。
    4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。
    5. 各會員若有使用機台者,每次使用請提供製程參數與膜厚,以掌握機台狀況及建檔。

    九、一般收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    1400 (元/小時)

    3000 (元/小時)

    自行操作

    1200 (元/小時)

    不開放

    操作訓練

    1400 (元/人)

    不開放

    十、儀器性能說明:

    可以沉積SiO2, Si3N4的薄膜, 並可就製程參數的調整來改變膜的鍍率, 折射率, 應力和抗蝕刻能力以合己用.

     

      一、儀器名稱:
    儀器中文名稱:光學監控鍍膜系統
    儀器英文名稱:Coating System with Optical In-situ Monitor

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
    廠牌及型號:崗勝科技有限公司 KS-800OPTO
    儀器購置年份:民國98年

    三、放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊NDL)R223

    四、服務項目:
    1. Ta2O5、TiO2、HfO2、SiO2、Si材料之蒸鍍

    五、設備重要規格:
    1. 他是一個含plasma的Ion gun source助鍍
    2. 具有光學監控系統監控光學鍍膜厚度
    3. 樣品可接受2吋、3吋、4吋wafer以及破片
    4. 鍍膜系統可接受最高溫度為270度

    六、設施服務須知:
    1. 本系統提供Ta2O5、TiO2、HfO2、SiO2、Si五種材料之蒸鍍,而保護層材料(mask)限用非揮發物質,嚴禁任何揮發物質、有機物質放入腔體,違者停權6個月,再犯者永久停權。
    2. 本設備經考核可開放自行操作。
    3. 本系統每週開放服務4天,每週一為設備維護保養及訓練時間。
    5. 本系統服務以四小時為一單元,總計每週開放服務八單元。
    8. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預約使用。
    9. 預約後欲取消須於24小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    10. 一年內累積爽約3次,停止預約資格六個月。
    11. 儀器相關人員:
    儀器負責教授 盧廷昌 教授 (03) 5712121 ext 31234
    林國瑞 教授 (03) 5712121 ext 31289
    儀器負責博士後研究員 N/A N/A
    儀器操作技術員 N/A N/A
    儀器負責研究生 賴映佑 (03) 5712121 ext 56354
    yylaio220@gmail.com
    儀器聯絡人 賴映佑 (03) 5712121 ext 54240

    七、對外開放服務時間與預約時段如下表所列:
    上午08:00-12:00/下午13:00-17:00

    時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    光學蒸鍍機

    8:00-12:00

    例行維護

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    13:00-17:00

    例行維護

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    研究型計畫

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: *若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

    八、服務申請流程:
    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於台灣各大學
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『光學監控鍍膜系統 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為1人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯『光學監控鍍膜系統會員使用申請表暨經費轉帳核准單』中所填寫研究生務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『光學監控鍍膜系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 需使用離子槍助鍍者,累積訓練時數達30小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核;若無需使用離子槍者,累積訓練時數達15小時以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段、夜間及非上班時間之自行操作資格。
    2-6 考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或E-mail與儀器聯絡人洽詢空白時段直接安排。
    3-2 來電時儀器聯絡人將詢問確切的實驗材料及鍍膜厚度等實驗需求,確認無誤後方可安排時段。
    3-3 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格3個月。
    3-4 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法 (未聘儀器操作技術員之前暫不接受申請)
    4-1 自行下載『光學監控鍍膜系統一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
    4-2 務必詳實填寫樣品結構、實驗材料及鍍膜厚度等實驗需求。
    4-3 申請人於預約時段前1天將試片送交儀器聯絡人。
    4-4 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費調整:

    項目

    學術計畫

    產業界

    費用委託操作

    1500(元/小時)

    2000(元/小時)

    自行操作

    750(元/次)

    不開放

    操作訓練

    2250(元/次)

    不開放


    十、鍍膜結果:
      
    Fig. 1 SEM images of Ta2O5/SiO2 19 layers with Ion gun deposited on GaN surface

    Fig. 2 反射率頻譜(Ta2O5/SiO2 19 layers with Ion gun)

     

     

    一、儀器名稱:

    中文名稱:可變角度 紫外/可見/紅外光 分光光譜儀
    英文名稱: Variable-angle UV/VIS/NIR Spectrophotometer

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:
    廠牌及型號: 日本,Hitachi U-4100
    儀器購置年份:2011年 1 月

    三、放置地點:
    放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室

    四、 服務項目:
    可變角度固體樣品反射率、穿透率量測,液態樣品吸收度量測。

    五、設備 重要規格:
    波長範圍:240~2600nm
    可變角度:10 to 60 deg. (in 10 deg. steps)
    樣品尺寸:Max.430 x 430 mm
    偵測器:光電倍增管(UV/Vis)、恆溫冷卻式Pbs(NIR),60mm直徑積分球硫酸鋇鍍膜

    六、設施服務須知:
    1. 本系統提供固體樣品反射率、穿透率量測,液態樣品吸收度量測。固體樣品測量窗口15*15mm,樣品需完整覆蓋,照光面積為5*5mm。液體樣品請自行回收廢液。
    2. 變角度量測為使用積分球部套件,量測時樣品將不貼於積分球窗口。
    3. 有特殊需求量測請可先與負責人討論。
    4. 本設備經考核可開放自行操作。
    5. 本系統每週開放服務 5 天,每週五下午為中心時段不開放。
    6. 本系統服務以一小時為一單元,請遵照規定。
    7. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知。

    七、服務申請流程:

    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 U4100 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
    1-4 會費每年新台幣 12,000元,自完成申請手續日起,會員可享有一年 40小時使用時段,中心並免費訓練 1~2 位研究生。

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為 2 人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯 『 U4100 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究生 務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『 U4100 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,以取得於開放時段自行操作資格。
    2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人洽詢空白時段直接安排。
    3-2 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載『 U4100 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽委託操作事宜。
    4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
    4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    八、儀器相關人員:

    儀器負責教授

    孫建文 教授

    03-5712121 #55631

    儀器負責員

    劉海平博士

    03-5712121 #55632

     

     

    haipingliu@nctu.edu.tw


    九、試行對外開放服務時間:

    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    9:00 - 12:00

    國家型計畫

    國家型計畫

    國家型計畫

    一般國科會

    一般國科會

    13:30 - 17:00

    國家型計畫

    儀器發展 (本中心使用時段)

    特殊服務或產業界委託服務

    一般國科會

    例行維護

    十、收費標準:

     

     

    學術單位

    業界

     

    自行操作

    委託代工

    委託代工

    U-4100

    400元/小時

    1000元/小時

    2000元

     

     

    一、儀器名稱:

    中文名稱:傅氏紅外線光譜儀
    英文名稱: FTIR system
    儀器英文簡稱:FTIR

    放置地點:
    放置地點:國家奈米元件實驗室L419

    二、 設備服務須知:
    本系統以學術研究為主,服務為輔。
    本系統服務以收費標準按小時計費。詳請參照『五、對外開放服務時間』。
    本設備目前試用儲值卡制度,詳細辦法請參照『四、傅氏紅外線光譜儀相關辦法』
    本設備服務採取序號預約,其詳細辦法請參照『六、服務辦法』。
    使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。
    取消預約須於 2 天前告知,違者停止預約資格 1 個月。 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 6 個月。 本儀器為求為確保儀器能持續正常運作,避免儀器資源的浪費,並維護所有合格使用者的權益,
    必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制,故訂定『九、送測樣品規範』
    請使用者務必確實遵守。

    三、儀器相關人員

    儀器負責教授

    李建平 教授
    顏順通 教授
    孫允武 教授

    03-5712121 #55629
    03-5712121 #31472
    04-22840427 #398

    儀器管理者

    李良箴博士

    03-5712121 #55634
    lcli@faculty.nctu.edu.tw

    四、傅氏紅外線光譜儀相關辦法
    本設備目前為會員制度。 欲申請者 (以指導教授為申請對象),請指導教授下載『儲值卡申請表暨經費轉
    帳核准單』
    ,詳填資訊後,yijuliou@mail.nctu.edu.tw,本中心將儘速回覆您的使用申請。
    申請核可後需繳納儲值費用,於機台使用與委託服務時,儀器負責人員將於實驗完畢後依
    據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』

    五、試行對外開放服務時間
    週一~週五 上午8:00~下午17:00

    六、服務辦法
    1. 本機台為A級機台,需透過學術合作方式申請使用,預申請使用者請先與儀
    器管理員連絡並請指導教授與儀器負責教授進行實驗討論評估。
    2. 本服務採取序號預約。詳填使用者與試片資訊後,請e-mail至
    lcli@faculty.nctu.edu.tw並以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段及確認實驗條件與試片製備。
    3. 申請人按通知時間至實驗室做光路調校及試片測試。
    4. 由於實驗之特殊性,申請人需在現場共同進行實驗。
    5. 由於實驗操作有其固定時間,會視實驗者狀況調整時間,故只能按預約順序排序,無法確定等候時間長短。
    6. 如有任何疑問,歡迎來電洽詢儀器負責人員。
    7. 儀器負責人員將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用,請參照『八、收費標準』

    七、自行操作訓練與考核辦法
    1. 自行操作分為部份自行操作者與全程自行操作者。
    2. 所有操作者都需先通過國家奈米元件實驗室之「半導體材料分析技術與見習」
    「工安」課程訓練。
    3. 部份自行操作者僅可操作量測儀器端之系統,並不包括整體儀器環境操作。
    而全程自行操作者則為已受過適當操作訓練之使用者,由本中心評估並決定是
    否接受訓練申請,其詳細辦法如下。
    4. 詳填使用者與試片資訊後,e-mail至lcli@faculty.nctu.edu.tw,本中心將回覆
    您的使用申請。請於申請核可後以電話或E-mail與儀器負責人洽詢使用時段
    及確認實驗條件與試片製備。
    5. 部份自行操作新訓人員累積訓練時數達 10hr以上者方可向儀器負責人申請
    考核。考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。全程自行操作新訓人員
    需會累積測量訓練時數達 10hr以上及所有儀器操作時數達20hr以上者,方可
    向儀器負責人申請考核。考核通過後可於白天時間自行操作系統。
    6. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    7. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,取消其自行操作資格。日後若需自行
    操作,需另行申請、訓練、考核。
    8. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。

    八、收費標準

     

    項目

    一般學術計畫

    費用

    委託操作

    1500 (元/小時)

    自行操作

    1000 (元/小時)

    操作訓練

    按照訓練
    時數收費

    九、送測樣品規範
    1. 使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗
    樣品的限制如下:
    (1) 樣品僅限單一的固體(非粉末)。
    (2) 樣品大小必須在 8mm×8mm∼20mm×20mm 尺寸內,厚度 10 mm 以內。
    (3) 量測範圍:500~7000 1/cm (1.43 ~ 20.00um)。
    (4) 注意基板材質,吸收太強或有特殊吸收峰會影響量測數據,請詳述基板資訊
    (如:矽或玻璃基板,摻雜濃度,厚度等)。
    (5) 請事先與工程師連絡,說明所需之量測。
    2. 自行操作人員,若擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,將被吊銷操作資格。
    3. 委託操作者上機前,技術員會再次要求確認您的樣品種類,請誠實申報。若發現申報不實
    本中心將取消您的使用資格。
    4. 若因違反規定造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠
    評估,再由本中心開會決議後執行並暫停儀器之使用權。

     

     

    一、儀器名稱:


    中文名稱:太陽能電池外部量子入射效率分析機台
    英文名稱: Solar Cell Quantum Efficiency Measurement System

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:


    廠牌及型號: Titan Electro-Optics,Hitachi QE-3000
    儀器購置年份:2012年 4 月

    三、放置地點:


    放置地點:交通大學光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室

    四、 服務項目:


    各式太陽能電池外部量子效率(EQE)及內部量子效率(IQE)量測。並提供Mapping功能。

    五、設備 重要規格:


    波長範圍:300~2000nm
    適用樣品:矽晶、CdTe、CIGS、GaAs及染料敏化太陽能電池
    樣品尺寸:Max.156 x 156 mm
    光徑:3-10mm
    偵測器:Si(300~1100nm)、InGaAs (850-1700nm)、2吋積分球
    Mapping最小距離:1mm

    六、設施服務須知:


    1. 本系統提供固體樣品外部量子效率(EQE)及內部量子效率(IQE)量測。並提供Mapping功能。
    2. 有特殊需求量測請可先與負責人討論。
    3. 本設備經考核可開放自行操作。
    4. 本系統每週開放服務 5 天,每週一上午為中心時段不開放。
    5. 本系統服務以一小時為一單元,請遵照規定。
    6. 預約後欲取消須於 24 小時之前告知。

    七、服務申請流程:


    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 QE-3000 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』
    1-4 會費每年新台幣 12,000元,自完成申請手續日起,會員可享有一
    年 40小時使用時段,中心並免費訓練 1~2 位研究生。

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為2人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯
    『 QE-3000 會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究
    生 務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『 QE-3000 一般使用者儀器使用、訓練、
    委託操作申請表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀
    器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者,須於一週內繳交『固態電子系統大樓與國家奈米元件
    實驗室門禁磁卡申請表』完成門禁磁卡申請,方可進行實驗預約。
    2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人
    再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 請至本中心網頁的『儀器預約』系統預約。
    3-2 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬
    實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其
    單位往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載『 QE-3000 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請
    表暨經費轉帳核准單 』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽
    委託操作事宜。
    4-2 申請人於預約時段前 1 天 將試片送交儀器聯絡人。
    4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    八、儀器相關人員:

    儀器負責教授

    孫建文 教授

    03-5712121 #55631

    儀器管理者

    劉海平博士

    03-5712121 #55632
    haipingliu@nctu.edu.tw

    九、試行對外開放服務時間:


    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    9:00 ~ 12:00

    例行維護

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    12:00 ~ 20:00

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    國科會計畫、委託服務

    十、收費標準:

     

     

    學術單位

    業界

     

    自行操作

    委託代工

    委託代工

    QE-3000

    300元/小時

    1000元/小時

    2000元

     

     

    一、儀器名稱:


    中文名稱:能量色散光譜儀
    英文名稱:EDS

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:


    廠牌及型號: BRUKER QUANTAX-400
    儀器購置年份:2012年

    三、放置地點:


    放置地點:光復校區 固態電子大樓(舊 NDL ) 1 樓,R101A 實驗室,JSM-6500 SEM 加掛.

    四、 服務項目:


    1. EDS 功能,委託操作,自行操作.
    2. Sample size小於50mm X 125mm X 100mm.


    五、設備 重要規格:


    1. Detecter SLEW/10*10mm.
    2. Takeoff angle 35°.
    3. Endcap diametr 16.3mm.
    4.Energy resolution Manganese <123eV FWHM at Mnkα.
    5. Energy resolution Fluorine 53 eV FWHM at FKα.
    6. Energy resolution Carbon 45 eV FWHM at CKα.
    7.Peakshift(5-300 kcps).

    六、設施服務須知:


    1. 本設備經考核可開放自行操作。
    2. 每週有 6 單元由學術計畫優先預約使用,另 4 單元由產業界優先
    預約使用。
    3. 優先預約時段至使用前七天內無人預約,則開放其它計畫或單位預
    約使用。
    4. 預約後欲取消須於 48 小時之前告知,違者停止預約資格一個月。
    5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格六個月。
    6. 儀器相關人員:

    儀器負責教授

    李建平 教授

    (03) 5712121 ext 55629
    (03) 5712121 ext 31589
    cplee@cc.nctu.edu.tw

    儀器操作技術員

    徐武達 先生

    (03) 5712121 ext 55638
    (03) 5712121 ext 55641
    wuta@mail.nctu.edu.tw

    儀器負責研究生

    N/A

    儀器聯絡人

    徐武達 先生

    (03) 5712121 ext 55638
    (03) 5712121 ext 55641
    wuta@mail.nctu.edu.tw


    七、試行對外開放服務時間:


    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    8:00 ~ 12:00

    特殊服務或產業界

    學術計畫

    學術計畫

    學術計畫

    特殊服務或產業界

    13:00 ~ 17:00

    特殊服務或產業界

    學術計畫

    學術計畫

    學術計畫

    特殊服務或產業界

    夜間及非上班日

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    附註: * 若內部維護或技術發展與訓練則不接授預約

    八、服務申請流程:


    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『JSM-6500F SEM WITH EDS 會員使用申請表暨經費轉帳核准單』
    2. EDS自行操作訓練之申請方法
    2-1 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-2 一般申請人需自行下載『 JSM-6500F SEM WITH EDS 一般使用者儀器使用、
    訓練、委託操作申請單暨經費轉帳核准單、』,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-3 累積訓練時數達 15 小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-4 考核通過者須於一週內自行下載『服務問卷表』,於填妥並回傳後始可完成認證手續,
    上班時間之自行操作資格。
    3. 預約自行操作之方法
    3-1 以電話或 E-mail 與 儀器聯絡人 洽詢空白時段直接安排, 會員直接上網預約。
    3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者應自行詳細確實的
    填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,違者停止使用資格 6 個月。
    3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬實驗室主管做合理的賠償,
    唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位往後的使用資格。
    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載
    『 JSM-6500F SEM WITH EDS 一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請單暨經費轉帳核准單 』,
    填妥後以 E-mail 提出申請。
    4-2 本中心將與申請者聯絡,詢問詳細實驗規格以決定是否接受委託件。
    4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費標準:

     

    項目

    一般學術計畫

    產業界

    費用

    委託操作

    1500(元/小時)

    2500 ( 元/小時)

    自行操作

    500( 元 / 小時 )

    不開放

    操作訓練

    扣當期會費時數15小時

    不開放

    年會員八十小時

    500/小時

    不開放

     

     

    一、儀器名稱:


    中文名稱:載子霍爾系數量測系統
    英文名稱: Hall Effect Measurement System

    二、儀器廠牌、型號及儀器購置年限:


    廠牌及型號: Swin HALL8800
    儀器購置年份:2012年

    三、放置地點:


    放置地點:光復校區固態電子大樓奈米科技中心R150實驗室

    四、 服務項目:


    可量測在室溫300K下室片(sample)之片電阻、電阻率、載子濃度、載子遷移率…等其它霍爾效應之物理量。

    五、設備 重要規格:







    Hardware installation


    1. HALL8800 主系統

    2. 試片載具平台


    3. 磁場系統


    4.電腦連結系統



    五.其他相關規格

    a. 溫度範圍: 室溫300 K
    b. 磁場範圍: 6370 Tesla
    c. 量測範圍:直流電流限制: 10-7A至0.1A,直流電壓最大限制: 100V,總功率小於2W。
    d. 量測物理性質:試片薄膜(film)之片電阻、電阻率、載子濃度、載子遷移率…等其他霍爾效應之物理量。

    六、設施服務須知:


    1. 本中心儀器需經考核均可開放自行操作。
    2. 本系統每週開放服務 5 天(週一至週五),一般使用者其使用時間為
    AM 08:00~PM 17:00;24 hr權限操作使用者可於夜間及假日時間使用。
    3. 本系統服務以1小時為 1 單元 ,每人每天最多預約 4 個單元。
    4. 取消預約須於 1 天前告知,違者停止預約資格2週。
    5. 一年內累積爽約 3 次,停止預約資格 3個月。
    6. 儀器相關人員:

    儀器負責教授

    李建平 教授

    (03) 5712121 ext 54159
    (03) 5712121 ext 54249
    cplee@cc.nctu.edu.tw

    儀器負責研究生

    林佳裕 博士生

    (03)5712121 ext.59341
    jaeu0126@gmail.com

    自行操作訓練與考核辦法 i. 自行操作新訓人員需累積訓練次數達 3次以上者方可向儀器負責人申請考核。
    考核通過後可於白天時間自行操作測量系統。若需於夜間、非上班日(24 hr權限)操作使用者,
    自行操作新訓人員需會累積測量訓練時數達20 hr以上者,方可向儀器負責人申請。
    考核通過後可於夜間、非上班日(24 hr權限)。
    ii. 合格使用者皆有訓練新訓人員之義務。
    iii. 考核通過者若連續 6 個月無操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人再視情況開放自行操作。
    iv. 本中心將於實驗完畢後依據使用時間斟酌自儲值費用中扣取實驗費用。
    其他注意事項: i. 試片以破片為主,尺寸小於(厚)0.2 cm × (長)1.5 cm × (寬) 1.5 cm,
    最好以(厚)0.2 cm × (長)1.0 cm ×(寬) 1.0 cm 尺寸較佳。
    ii. 試片基板種類: 石英、玻璃、氧化物…等不導電基板為主。
    iii. 作霍爾量測前可先檢查金屬與試片之歐姆接觸是否良好。
    iv. 液體樣品暫不接受量測。
    v. 目前無低溫量測系統。

    七、對外開放服務時間與預約時段:


    使用時間

    星期一

    星期二

    星期三

    星期四

    星期五

    夜間及非上班日

    8:00 ~ 17:00

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    開放自行操作

    24h使用者操作or例行維護

    八、服務申請流程:


    1. 會員制度
    1-1 本設備適用奈米科技中心之會員制度
    1-2 會員制度適用於 台灣聯合大學系統專任教師
    1-3 欲申請會員資格者請自行下載『 霍爾量測會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』

    2. 自行操作訓練之申請方法
    2-1 不管是否加入會員,每一實驗室申請自行操作本機台之人數上限為2人。
    2-2 會員完成繳費程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜,唯
    『霍爾量測會員使用申請表暨經費轉帳核准單 』 中所填寫研究
    生 務必一同出席訓練課程。
    2-3 一般申請人需自行下載『霍爾量測一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』, 完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽訓練事宜。
    2-4 累積訓練時數達 3小時 以上者方可向儀器聯絡人申請考核。
    2-5 考核通過者,須於一週內繳交『固態電子系統大樓與國家奈米元件
    實驗室門禁磁卡申請表』完成門禁磁卡申請,方可進行實驗預約。
    2-6 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄,請先洽詢儀器聯絡人
    再視情況開放自行操作。

    3. 預約自行操作之方法
    3-1 由霍爾量測使用記錄本預約。
    3-2 此項儀器開放通過考核者於上班及非上班時段自行操作,凡使用者
    應自行詳細確實的填寫儀器使用紀錄簿,並註明所發生的任何異常狀況,
    違者停止使用資格 3 個月。
    3-3 若因個人操作不當造成儀器損壞,本中心可視情況要求操作者所屬
    實驗室主管做合理的賠償,唯匿情不報者除要求賠償外,並撤銷其單位
    往後的使用資格。

    4. 申請委託服務之方法
    4-1 自行下載『霍爾量測一般使用者儀器使用、訓練、委託操作申請表暨經費轉帳核准單』
    ,完成申請程序後自行與儀器聯絡人接洽
    委託操作事宜。
    4-2 申請人於預約時段前 3 天 將試片送交儀器聯絡人。
    4-3 儀器聯絡人得視需要可要求申請人在現場共同進行實驗。

    九、收費標準:

    費用

    學術單位

    自行操作

    委託代工

    250元/小時

    300元/一片

    業界

    委託代工

    NONE

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